[發明專利]帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置、使用該裝置的流體供給系統的異常檢測方法及監測流量異常時的處置方法

有效

• 申請號: 201280022337.1
• 申請日: 2012-04-05
• 公開（公告）號: CN103502902A
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 平田薰;土肥亮介;西野功二;池田信一;杉田勝幸
• 申請（專利權）人: 株式會社富士金
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 肖日松;李婷

1.?一種帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置，其特征在于，由下列部件構成：

流體的入口側通路；

控制閥，其與入口側通路的下游側連接并構成壓力式流量控制部；

熱式流量傳感器，其與控制閥的下游側連接；

節流口，其介入設置在與熱式流量傳感器的下游側連通的流體通路；

溫度傳感器，其設在所述控制閥與節流口之間的流體通路的附近；

壓力傳感器，其設在所述控制閥與節流口之間的流體通路；

出口側通路，其與所述節流口連通；以及

控制部，其由壓力式流量運算控制部及流量傳感控制部構成，該壓力式流量運算控制部被輸入來自所述壓力傳感器的壓力信號及來自溫度傳感器的溫度信號，對流通于節流口的流體的流量值Q進行運算，并且，向閥驅動部輸出使所述控制閥沿所運算的流量值與設定流量值的差減少的方向進行開閉動作的控制信號Pd，該流量傳感控制部被輸入來自所述熱式流量傳感器的流量信號并根據該流量信號而將流通于節流口的流體流量運算顯示。

2.?根據權利要求1所述的帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置，其特征在于，將壓力傳感器設在控制閥的出口側與熱式流量傳感器的入口側之間。

3.?根據權利要求1或權利要求2所述的帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置，其特征在于，作為這樣的控制部：如果由流量傳感控制部運算的流體流量與由壓力式流量運算控制部運算的流體流量之間的差超過設定值，則進行警報顯示。

4.?根據權利要求1所述的帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置，其特征在于，將控制閥、熱式流量傳感器、節流口、壓力傳感器、溫度傳感器、入口側通路、出口側通路一體地組裝于一個機體，并且，將流體通路一體地形成于機體。

5.?一種帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置，其特征在于，由下列部件構成：

流體的入口側通路；

控制閥，其與入口側通路的下游側連接并構成壓力式流量控制部；

熱式流量傳感器，其與控制閥的下游側連接；

節流口，其介入設置在與熱式流量傳感器的下游側連通的流體通路；

溫度傳感器，其設在所述控制閥與節流口之間的流體通路的附近；

壓力傳感器，其設在所述控制閥與節流口之間的流體通路；

出口側通路，其與所述節流口連通；

壓力傳感器，其設在所述節流口的下游側的出口側通路；以及

控制部，其由壓力式流量運算控制部及流量傳感控制部構成，該壓力式流量運算控制部被輸入來自所述壓力傳感器及壓力傳感器的壓力信號及來自溫度傳感器的溫度信號，進行流通于節流口的流體的臨界膨脹條件的監視并對流通于節流口的流體的流量值Q進行運算，并且，向閥驅動部輸出使所述控制閥沿所運算的流量值與設定流量值的差減少的方向進行開閉動作的控制信號Pd，該流量傳感控制部被輸入來自所述熱式流量傳感器的流量信號并根據該流量信號而將流通于節流口的流體流量運算顯示。

6.?根據權利要求5所述的帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置，其特征在于，作為這樣的控制部：如果流通于節流口的流體違反臨界膨脹條件，則進行警報顯示。

7.?根據權利要求5所述的帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置，其特征在于，將控制閥、熱式流量傳感器、節流口、壓力傳感器、溫度傳感器、入口側通路、出口側通路、壓力傳感器一體地組裝于一個機體，并且，將流體通路一體地形成于機體。

8.?一種使用了帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置的流體供給系統的異常檢測方法，使用所述帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置的壓力的顯示值及/或流量自身診斷機構的診斷值而檢測在流體供給系統的所述帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置的上游側及/或下游側設置的閥的異常，該流體供給系統具備帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置，該帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置由流量的設定機構、流量及壓力的顯示機構及/或流量自身診斷機構構成并擁有壓力傳感器，其特征在于，使作為異常檢測的對象的閥為在帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置的上游側設置的清洗氣體供給系統的閥和處理氣體供給系統的閥、以及在帶有流量監測器的壓力式流量控制裝置的下游側的處理氣體使用系統設置的閥，并且，使檢測的異常的種類為閥的開閉動作及閥座泄漏。