[發明專利]紫外線激光裝置有效
| 申請號： | 201280008296.0 | 申請日： | 2012-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN103348286A | 公開（公告）日： | 2013-10-09 |
| 發明（設計）人： | 尾下善紀;徳久章 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G02F1/37 | 分類號： | G02F1/37 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 紫外線 激光 裝置 | ||
1.一種紫外線激光裝置，具備輸出紅外線波長的激光光的激光光輸出部、具有波長轉換光學元件且將從所述激光光輸出部輸出的紅外線激光光波長轉換成紫外線波長的激光光并輸出的波長轉換部，其特征在于：
該激光光輸出部具備輸出波長為1900～2000nm的第1紅外線激光光的第1激光光輸出部、與輸出波長為1000～1100nm的第2紅外線激光光的第2激光光輸出部；
該波長轉換部具備從所述第1激光光輸出部輸出的第1紅外線激光光射入并傳播的第1系列、與在所述第1系列傳播后的激光光及從所述第2激光光輸出部輸出的第2紅外線激光光合波后射入并傳播的第2系列；
射入所述波長轉換部的所述第1及第2紅外線激光光被設在所述波長轉換部的波長轉換光學元件波長轉換，由此從所述第2系列輸出紫外線激光光。
2.如權利要求第1項所述的紫外線激光裝置，其中，
設在所述波長轉換部的波長轉換光學元件包括下述元件：
第1波長轉換光學元件，產生所述第1紅外線激光光的第2諧波；
第2波長轉換光學元件，產生從所述第1波長轉換光學元件射出的所述第2諧波的第2諧波、即所述第1紅外線激光光的第4諧波；
第3波長轉換光學元件，產生從所述第2波長轉換光學元件射出的所述第4諧波的第2諧波、即所述第1紅外線激光光的第8諧波即前段紫外線激光光；以及
第4波長轉換光學元件，通過所述前段紫外線激光光與所述第2紅外線激光光的和頻產生而產生所述紫外線激光光。
3.如權利要求第2項所述的紫外線激光裝置，其中，
所述第1波長轉換光學元件及所述第2波長轉換光學元件被設在所述第1系列；
所述第3波長轉換光學元件及所述第4波長轉換光學元件被設在所述第2系列。
4.如權利要求第2項所述的紫外線激光裝置，其中，
所述第1波長轉換光學元件、所述第2波長轉換光學元件及所述第3波長轉換光學元件被設在所述第1系列；
所述第4波長轉換光學元件被設在所述第2系列。
5.如權利要求第2至4項中任一項所述的紫外線激光裝置，其中，
在所述第3波長轉換光學元件的相位匹配及在所述第4波長轉換光學元件的相位匹配為非臨界相位匹配。
6.如權利要求第2至5項中任一項所述的紫外線激光裝置，其中，
在所述第1波長轉換光學元件的相位匹配及在所述第2波長轉換光學元件的相位匹配為準相位匹配。
7.如權利要求第1至6項中任一項所述的紫外線激光裝置，其中，
所述第1激光光輸出部具有摻銩光纖光放大器。
8.如權利要求第1至7項中任一項所述的紫外線激光裝置，其中，
所述第2激光光輸出部具有摻鐿光纖光放大器。
9.如權利要求第1至8項中任一項所述的紫外線激光裝置，其中，
所述紫外線激光光為波長190～200nm的深紫外光。
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