[發明專利]可撓性基板的搬送裝置及顯示元件或電子電路的制造系統

有效

• 申請號: 201280003198.8
• 申請日: 2012-02-20
• 公開（公告）號: CN103153830A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 浜田智秀;木內徹
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: B65H23/032
• 分類號: B65H23/032
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

1.一種搬送裝置，其具備：

供應滾筒，送出形成為帶狀且具有可撓性的基板；

回收滾筒，卷取從前述供應滾筒送出的前述基板；以及

驅動部，將前述供應滾筒與前述回收滾筒驅動于相對從前述供應滾筒往前述回收滾筒的前述基板的運送方向交叉的方向。

2.根據權利要求1所述的搬送裝置，其中，前述驅動部將前述供應滾筒與前述回收滾筒同步驅動。

3.根據權利要求1或2所述的搬送裝置，其具備：

基臺；

第一軌，設于前述基臺，將前述供應滾筒導引于前述交叉方向；以及

第二軌，設于前述基臺中相對前述第一軌分離的位置，將前述回收滾筒導引于前述交叉方向。

4.根據權利要求3所述的搬送裝置，其具備軌驅動部，驅動前述第一軌與前述第二軌中的至少一方，使前述供應滾筒與前述回收滾筒彼此接近或分離。

5.根據權利要求4所述的搬送裝置，其中，前述軌驅動部具有使前述第一軌與前述第二軌能彼此接近或分離地導引前述第一軌及前述第二軌中的至少一方的導引部。

6.根據權利要求4或5所述的搬送裝置，其具有控制部，是將前述軌驅動部控制成從前述供應滾筒對前述回收滾筒送出前述基板的前端部時前述第一軌與前述第二軌之間成為第一距離。

7.根據權利要求6所述的搬送裝置，其中，前述控制部，是將前述軌驅動部控制成在前述基板的前述前端部被前述回收滾筒卷取后前述第一軌與前述第二軌之間成為第二距離。

8.根據權利要求6或7所述的搬送裝置，其中，前述控制部，是將前述軌驅動部控制成通過前述回收滾筒卷取至前述基板的后端部時前述第一軌與前述第二軌之間成為第三距離。

9.根據權利要求8所述的搬送裝置，其中，前述控制部，是將前述軌驅動部控制成在前述基板的前述后端部被卷取至前述回收滾筒后前述第一軌與前述第二軌之間成為第二距離。

10.根據權利要求6至9中任一項所述的搬送裝置，其中，前述控制部，是控制前述軌驅動部，以在于前述供應滾筒與前述回收滾筒之間橫掛有前述基板的狀態下調整前述基板中被橫掛的部分的長度。

11.根據權利要求4至10中任一項所述的搬送裝置，其中，前述軌驅動部具有將前述第一軌及前述第二軌導引于重力方向的第二導引部。

12.根據權利要求11所述的搬送裝置，其進一步具備第二控制部，控制前述軌驅動部的通過前述第二導引部的驅動；

前述第二控制部，是依照從前述供應滾筒往前述回收滾筒移動的前述基板的移動速度，將前述軌驅動部的驅動量調整成前述第一軌及前述第二軌會在設定于重力方向上的多個位置間移動。

13.根據權利要求3至12中任一項所述的搬送裝置，其中，前述第一軌及前述第二軌分割為多個單位軌；

前述軌驅動部能依各前述單位軌驅動。

14.根據權利要求3至12中任一項所述的搬送裝置，其中，前述第一軌及前述第二軌是夾著對從前述供應滾筒往前述回收滾筒搬送的前述基板施加既定處理的處理裝置設置。

15.根據權利要求14所述的搬送裝置，其中，前述處理裝置包含用以對前述基板上施加不同處理的多個處理裝置；

所述多個處理裝置排列配置于前述第一軌及前述第二軌的延設方向。

16.一種制造系統，是將權利要求14所述的搬送裝置與前述多個處理裝置設置于地上，而于前述基板上形成可撓性的顯示元件或可撓性的電子電路。