[實用新型]硅片洗凈機有效
| 申請號： | 201220750621.8 | 申請日： | 2012-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN202984178U | 公開（公告）日： | 2013-06-12 |
| 發明（設計）人： | 王東梅 | 申請（專利權）人： | 宇駿（濰坊）新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 濰坊正信專利事務所 37216 | 代理人： | 王秀芝 |
| 地址： | 261061 山東省濰坊*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 洗凈 | ||
【權利要求書】：
1.硅片洗凈機，包括加熱器，其特征在于：所述洗凈機還包括罩設在所述加熱器外側的防護罩，所述防護罩的形狀為方形，所述洗凈機的輸水管穿過所述防護罩。
2.如權利要求1所述的硅片洗凈機，其特征在于：所述防護罩的內部設置有兩個所述加熱器。
3.如權利要求1或2所述的硅片洗凈機，其特征在于：所述防護罩的背面開口。
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