[實用新型]高溫反偏實時監控系統

有效

• 申請號: 201220748744.8
• 申請日: 2012-12-30
• 公開（公告）號: CN203069741U
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 吳歡歡;符強;魏建中
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭微電子股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R19/165
• 代理公司: 杭州華知專利事務所 33235
• 代理人: 張德寶

1.一種高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述監控系統包括主控中心、系統電源、用于提供反偏電源及實時監測半導體器件反偏漏電流的若干監測單元和安裝在高溫烘箱內用于連接半導體器件的若干老化板，單個監測單元用于監測其中一塊老化板中的半導體器件，主控中心和監測單元均由系統電源供電；

所述監測單元包括用于提供反偏電源的數控高壓電路和用于實時傳遞及存儲老化板中各半導體器件反偏漏電流的測試監控電路，數控高壓電路和測試監控電路均分別與主控中心和老化板相連；數控高壓電路接收主控中心發送的反偏電壓信息，老化板加載數控高壓電路輸出的反偏電源，老化板輸出每個半導體器件的反偏漏電流到測試監控電路中，測試監控電路實時處理反偏漏電流并輸出反偏漏電流數據信息，主控中心接收并存儲反偏漏電流數據信息。

2.根據權利要求1所述的高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述測試監控電路包括用于處理及傳遞老化板中各半導體器件反偏漏電流的多個反偏漏電流監測子電路、模數轉換子電路和用于存儲反偏漏電流數據信息的微處理器，反偏漏電流監測子電路接收并處理老化板輸出的反偏漏電流，反偏漏電流監測子電路輸出處理后的模擬電壓信號到模數轉換子電路中進行模數轉換，模數轉換子電路輸出反偏漏電流數據到微處理器中存儲。

3.根據權利要求2所述的高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述測試監控電路還包括用于處理及傳遞老化板中半導體器件反偏電壓的反偏電壓監測子電路，反偏電壓監測子電路接收并處理老化板輸出的反偏電壓，反偏電壓監測子電路輸出處理后的模擬電壓信號到模數轉換子電路中進行模數轉換，模數轉換子電路輸出反偏漏電流數據到微處理器中存儲。

4.根據權利要求2所述的高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述測試監控電路還設有用于監測反偏漏電流是否處于閾值范圍內的多個反偏漏電流異常判斷子電路、記錄有老化板中半導體器件工位數據的CPLD可編程邏輯器件和用于切斷異常工位反偏電壓的反偏漏電流保護子電路，反偏漏電流異常判斷子電路接收微處理器輸出的電流閾值，反偏漏電流異常判斷子電路接收并與閾值比較老化板實時輸出的反偏漏電流，反偏漏電流異常判斷子電路輸出異常信息到CPLD可編程邏輯器件中處理，CPLD可編程邏輯器件發送異常工位信息到微處理中器存儲，同時微處理器輸出啟動信號給反偏漏電流保護子電路，反偏漏電流保護子電路切斷異常工位器件的反偏漏電流回路。

5.根據權利要求2所述的高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述測試監控電路還包括用于監測每塊老化板溫度的溫度監測子電路，溫度監測子電路包括安裝在每一塊老化板中間的溫度傳感器，溫度監測子電路輸出處理后的溫度模擬電壓信號到模數轉換子電路中進行模數轉換，模數轉換子電路輸出轉換后的溫度數據到微處理器中存儲。

6.根據權利要求2所述的高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述主控中心與測試監控電路和數控高壓電路之間的連接線均為差分信號傳輸總線，微處理器與主控中心之間連接有通訊隔離電路。?

7.根據權利要求1所述的高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述數控高壓電路包括第二微處理器、數模轉換子電路、功率放大子電路和電壓鉗位子電路，第二微處理器接收主控中心發送的反偏電壓信息，并傳送該信息到數模轉換子電路進行數模轉換，數模轉換子電路輸出模擬電壓值到功率放大子電路中，老化板加載功率放大子電路輸出的反偏電源，電壓鉗位子電路接收并處理第二微處理器輸出的數字電壓信息，電壓鉗位子電路輸出處理后的電壓值到功率放大子電路。

8.根據權利要求7所述的高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述功率放大子電路還順次連接有電壓采樣子電路、反饋子電路和選擇器，電壓鉗位子電路通過選擇器與功率放大子電路相連，電壓采樣子電路對功率放大子電路輸出的反偏電源進行采樣，并將采樣數據發送到反饋子電路中，反饋子電路輸出反饋電壓到選擇器中，選擇器接收并處理電壓鉗位子電路輸出的電壓值，選擇器輸出電壓值或反饋電壓到功率放大子電路中。

9.根據權利要求1所述的高溫反偏實時監控系統，其特征在于，所述系統電源與主控中心之間連接有用于檢測系統電源工作狀態的電源監控電路。