[實用新型]準分子激光整形均束裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220748699.6 | 申請日： | 2012-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN203149208U | 公開（公告）日： | 2013-08-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔣毅堅;靳羽華;趙艷 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京工業(yè)大學 |
| 主分類號： | G02B27/09 | 分類號： | G02B27/09;B23K26/06;B23K26/073 |
| 代理公司： | 北京思海天達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203 | 代理人： | 魏聿珠 |
| 地址： | 100124 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 準分子激光 整形 束裝 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種準分子激光整形均束裝置，其特征在于：包括依次布置的第一微透鏡陣列（1）,第二透微鏡陣列（2），球面傅立葉透鏡（3），聚焦靶面（4），所述的第一微透鏡陣列（1）、第二透微鏡陣列（2）、球面傅立葉透鏡（3）、聚焦靶面（4）固定在在滑動機械槽（5）內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準分子激光整形均束裝置，其特征在于：所述的第一微透鏡陣列（1）和第二微透鏡陣列（2）中的微透鏡本身為平凸面形的一體結(jié)構(gòu)，構(gòu)成陣列的微透鏡級數(shù)為12×12級。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準分子激光整形均束裝置，其特征在于：第二微透鏡陣列（2）的焦距大于第一微透鏡陣列（1）的焦距，第二微透鏡陣列（2）的位置遠離第一微透鏡陣列的焦平面（1）。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準分子激光整形均束裝置，其特征在于：所述的第一微透鏡陣列（1）和第二微透鏡陣列（2）中各自共計144個微透鏡由鋼制金屬外框及兩塊鋼制金屬壓板壓緊固定，兩個金屬壓板的側(cè)面均有兩個螺絲來調(diào)整壓力。
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