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[實用新型]一種絕對光柵尺測試平臺有效

專利信息
申請號: 201220745523.5 申請日: 2012-12-28
公開(公告)號: CN203274764U 公開(公告)日: 2013-11-06
發明(設計)人: 王晗;陳新;吳志雄;陳新度;杜雪;王素娟;劉強;林旭昇;增頂;陳啟森;黃裕樑;薛逸嵐;郭思遠;關日釗 申請(專利權)人: 廣東工業大學
主分類號: G01D5/26 分類號: G01D5/26
代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 代理人: 林麗明
地址: 510006 廣東省廣*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 絕對 光柵尺 測試 平臺
【權利要求書】:

1.一種絕對光柵尺測試平臺,其特征在于包括有用于采集光柵條紋的COMS傳感器(1)、光學聚焦鏡(2)、COMS目鏡(3)、平行光源(4)、光柵尺支架(5)、雙光柵條光柵尺(6)、光柵尺支架(7)、移動平臺(8)、直線滑軌(9)、直線推進裝置(10)、步進電機(13)、基座(14),其中步進電機(13)、直線推進裝置(10)、直線滑軌(9)組成直線運動系統,COMS傳感器(1)、光學聚焦鏡(2)、COMS目鏡(3)、平行光源(4)和雙光柵條光柵尺(6)組成圖像處理的采樣系統,用于采集光柵條紋的COMS傳感器(1)固定在COMS傳感器支架(5)的上端,平行光源(4)固定在COMS傳感器支架(5)的下端,光學聚焦鏡(2)、COMS目鏡(3)組成光學放大系統,光學聚焦鏡(2)、COMS目鏡(3)置于能提供平行光的平行光源(4)的上方,COMS傳感器(1)置于能采集到經光學聚焦鏡(2)、COMS目鏡(3)放大的圖像信息的位置上,雙光柵條光柵尺(6)裝設在光柵尺支架(7)上,且雙光柵條光柵尺(6)置于光學聚焦鏡(2)與平行光源(4)之間,COMS傳感器支架(5)裝設在移動平臺(8)上,且移動平臺(8)置于滑軌(9)上,滑軌(9)及光柵尺支架(7)裝設在基座(14)上,直線滑軌(9)與直線推進裝置(10)的從動件連接,直線推進裝置(10)的主動件與步進電機(13)的輸出軸連接。

2.根據權利要求1所述的絕對光柵尺測試平臺,其特征在于上述直線滑軌(9)為螺旋傳動裝置,螺旋傳動裝置的螺桿與步進電機(13)的輸出軸連接,螺旋傳動裝置的螺母與直線滑軌(9)連接。

3.根據權利要求2所述的絕對光柵尺測試平臺,其特征在于上述螺旋傳動裝置的螺桿由軸承(11)支撐,且螺桿通過聯軸器(12)與步進電機(13)的輸出軸連接。

4.根據權利要求1至3任一項所述的絕對光柵尺測試平臺,其特征在于上述雙光柵條光柵尺(6)上包含有兩條編碼條,包括增量編碼條?(15)和絕對位置編碼條?(16);上述增量編碼條(15)為間距比絕對位置編碼條(16)密度大的等間距等寬度光柵條。

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