[實用新型]雙槽加熱裝置

有效

• 申請號: 201220739904.2
• 申請日: 2012-12-30
• 公開（公告）號: CN203007388U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 陳道理
• 申請（專利權）人: 盱眙新遠光學科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種雙槽加熱裝置，應用于鍍膜制備領域。

背景技術

在真空鍍膜工藝中，加熱裝置是一種重要的蒸發設備。加熱加熱裝置使其中的物質蒸發，蒸發物質的原子或分子就會以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數百埃至數微米。在裝料量一定、源和基片的距離一定的情況下，膜厚決定于蒸發源的蒸發速率和時間，因此，增加加熱裝置與材料的接觸面積，可以加快蒸發速率來滿足需要。另一方面，舟內材料在加熱過程中有時會濺出到加熱裝置外。

故，需要一種新的產品以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術存在的不足，提供一種使用方便、經濟實用的雙槽加熱裝置產品。

為實現上述發明目的，本實用新型雙槽加熱裝置可采用如下技術方案：

一種雙槽加熱裝置，包括梯形槽和半圓槽，所述梯形槽的底部設置有所述半圓槽。

更進一步的，所述半圓槽的直徑為5-9cm，長度為6-12cm。

更進一步的，所述梯形槽的開口處設置有鎢絲，所述鎢絲的為螺旋形，所述鎢絲的兩端固定在所述梯形槽的兩端。增加了與材料的接觸面，節省了蒸發時間，也能減少材料濺出鎢舟，節省材料。

更進一步的，所述加熱裝置為鎢舟。?

有益效果：本實用新型的雙槽加熱裝置增加了加熱裝置內側接觸面積，同時能減少蒸發材料濺出加熱裝置。

附圖說明

圖1是本實用新型的雙槽加熱裝置的俯視圖；

圖2是本實用新型的雙槽加熱裝置的主視圖；

圖3是本實用新型的帶鎢絲的雙槽加熱裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例，進一步闡明本實用新型，應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍，在閱讀了本實用新型之后，本領域技術人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。

請參閱圖1所示，本實用新型的雙槽加熱裝置，具有梯形槽1和半圓槽2，半圓槽2開口設置在梯形槽1的底部。其中，加熱裝置為鎢舟。

請參閱圖2所示，半圓槽2會增加加熱裝置與材料的接觸面。半圓槽2內材料發生濺射時，會被梯形槽2內壁阻擋。

請參閱圖3所示，梯形槽1的開口處設置有鎢絲3，鎢絲3的為螺旋形，鎢絲3的兩端固定在梯形槽1的兩端。此設計增加了與材料的接觸面，節省了蒸發時間，也能減少材料濺出鎢舟，節省材料。

如上所述，本實用新型的半圓槽2增加了加熱裝置內側接觸面積，同時能減少蒸發材料濺出加熱裝置。