[實用新型]化學品供應系統用灌裝機械手臂

有效

• 申請號: 201220726725.5
• 申請日: 2012-12-25
• 公開（公告）號: CN203112483U
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 簡建至;江獻茂;黃丙軍
• 申請（專利權）人: 冠禮控制科技（上海）有限公司
• 主分類號: B67C3/30
• 分類號: B67C3/30
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 楊軍

[技術領域]

本實用新型涉及化學品供應技術領域，具體地說是一種化學品供應系統用灌裝機械手臂。?

[背景技術]

桶槽式供應系統（Drum?CDS）是集成電路或半導體制造行業使用較為常見的化學品供應系統，由于化學品用量的關系，經常需要對桶槽進行更換，該更換的過程通常由操作人員手工完成，這種手工更換的做法存在以下不足之處：一方面，人工操作的效率較低，另一方面，人工操作存在一定的安全隱患，主要體現在操作人員在與有毒有害化學品接觸時會產生的傷害，以及操作人員誤操作會導致化學品補充錯誤的可能，為提高桶槽更換的效率以及可靠性，自動灌裝系統的開發變得非常必要，其中灌裝系統的機械手臂的設計與開發是為實現自動灌裝的核心部件。?

針對目前現有的絕大多數全自動灌裝系統，由于都是使用視覺系統對灌裝管道進行定位以及進行之后的灌裝工作，這樣的應用在流水式生產類型的產線如食品飲料的灌裝上應用較為成功，但是在典型的離散式的定量型化學品補充的應用中，卻無法適應變化的不同類別的散裝的桶裝化學品在不定時間間隔和數量的換裝需求，同時，由于灌裝對象是單位價格較高的危險化學品，一旦出現誤灌或灌裝化學品的溢出，不但會造成較大的經濟損失，同時會對設備、人員與環境造成較大的危害，因此，在現有的情況下，全自動灌裝系統仍然無法?滿足危險高純度化學品的自動灌裝需求。?

[實用新型內容]

本實用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種化學品供應系統用灌裝機械手臂，不僅保證了灌裝管道更換過程的可靠性，減少了操作人員的工作量，提高了灌裝過程的工作效率，而且大大降低了制造成本，提高了安全性。?

為實現上述目的設計一種化學品供應系統用灌裝機械手臂，包括機械手臂和灌裝定位裝置，所述機械手臂包括垂直運動機構（1）和水平調節機構（2），所述垂直運動機構（1）安裝在水平調節機構（2）端部，所述水平調節機構（2）另一端安裝有灌裝定位裝置，所述灌裝定位裝置上方設有輔助檢測裝置，所述灌裝定位裝置包括透視防護罩板（3）和導向套筒（4）。?

所述垂直運動機構（1）包括垂直驅動部件，所述垂直驅動部件為無桿氣缸。?

所述水平調節機構（2）包括外殼和內置導軌，所述外殼采用高分子材料制成，所述內置導軌采用聚乙烯制成。?

所述輔助檢測裝置包括機械閉鎖（5）和壓力傳感器，所述機械閉鎖（5）和壓力傳感器安裝在灌裝定位裝置上方。?

所述輔助檢測裝置還包括條碼系統和聲光報警系統，所述條碼系統和聲光報警系統設置在灌裝定位裝置上方的灌裝管道（6）處。?

所述導向套筒（4）與水平調節機構（2）均為中空結構，所述導向套筒（4）與水平調節機構（2）的中空部分連接排氣管道（7）。?

本實用新型同現有技術相比，結構新穎、簡單，由于配置了由垂直運動機構和水平調節機構組成的機械手臂，并設有由人工進行定位的灌裝定位裝置，以及輔助人工定位的輔助檢測裝置，從而不僅能夠幫助操作人員確定灌裝管道被固定在正確的位置上，而且確保了操作人員在選擇灌裝管道的時候不會將錯誤的灌裝管道取出并進行灌裝，保證了灌裝管道更換過程的可靠性，減少了操作人員的工作量，提高了整個灌裝過程的效率；另外，由于導向套筒與水平調節機構中間設置成中空并連接排氣管道，從而將揮發出的危險氣體強制排出，避免了揮發出的危險化學品氣體對人員、設備及環境所帶來的危害，該內置式強制排風口進一步增加了設備使用的安全性；此外，由于該灌裝機械手臂取消了常見灌裝系統的視覺定位系統，從而大大降低了制造成本以及系統復雜程度，具有較高的經濟性。?

[附圖說明]

圖1是本實用新型的結構示意圖；?

圖2是本實用新型的側面結構示意圖；?

圖3是本實用新型的內部結構示意圖；?

圖4是本實用新型的安裝布局示意圖一；?

圖5是本實用新型的安裝布局示意圖二；?

圖中：1、垂直運動機構??2、水平調節機構??3、透視防護罩板??4、導向套筒??5、機械閉鎖??6、灌裝管道??7、排氣管道。?

[具體實施方式]

下面結合附圖對本實用新型作以下進一步說明：?

如附圖所示，本實用新型包括：機械手臂和灌裝定位裝置，機械手臂包括垂直運動機構1和水平調節機構2，垂直運動機構安裝在水平調節機構端部，水平調節機構另一端安裝有灌裝定位裝置，灌裝定位裝置包括透視防護罩板3和導向套筒4，灌裝定位裝置上方設有輔助檢測裝置。?