[實用新型]OLED蒸鍍罩

有效

• 申請號: 201220723315.5
• 申請日: 2012-12-25
• 公開（公告）號: CN203021642U
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 唐軍
• 申請（專利權）人: 唐軍;錢超
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228
• 代理人: 張志醒

技術領域

本實用新型涉及OLED顯示屏制造技術領域，特別涉及一種OLED蒸鍍罩。

背景技術

有機電致發光器件，具有自發光、反應時間快、視角廣、成本低、制造工藝簡單、分辨率佳及高亮度等多項優點，被認為是下一代的平面顯示器新興應用技術。在?OLED（Organic?Light-Emitting?Diode，有機電致發光二極管）?技術中，真空蒸鍍中的掩模板技術是一項非常重要和關鍵的技術，該技術的等級直接影響?OLED?產品的質量和制造成本。

在應用于蒸鍍時，傳統工藝的蒸鍍用掩模板一般采用正反同時蝕刻工藝，雖然可以制作出帶有一?定錐度的開口，但由于側蝕的原因，使得掩模板貼緊蒸鍍?ITO?玻璃基板的銦錫氧化物接觸面?的銦錫氧化物接觸面開口存在倒錐度，該種倒錐角的存在，產生死角區域?，由于該死角區域的存在，無法達到蒸鍍厚度要求，導致蒸鍍材料的成膜均勻性降低，影響蒸鍍質量，延長了蒸鍍時間，增加制造成本。

一般蒸鍍用蔭罩（即掩模板）的厚度在?100μm?左右，而需蒸鍍的有機材料膜的厚度在100nm左右，蔭罩上的開口尺寸最小可以是?10μm，所以無錐度開口的側壁勢必會在蒸鍍過程中產生遮擋。另一方面，如果通過減薄蔭罩的厚度的方法來降低蔭罩的遮擋程度，又會影響蔭罩的使用壽命，因為蔭罩過薄，易變形，影響的蔭罩的使用，降低蒸鍍質量。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于，針對上述現有技術中的不足，提供一種OLED蒸鍍罩，具有能提高有機發光材料的使用率和成膜率，延長蒸鍍罩的使用壽命和節約制造成本等優點。

為實現上述發明目的，本實用新型采用以下技術方案。

本實用新型提供一種OLED蒸鍍罩，包括蒸鍍板，所述蒸鍍板包括ITO接觸面和蒸鍍面，所述蒸鍍板上設置有多個呈中心對稱狀的蒸鍍孔，所述蒸鍍孔自所述蒸鍍面貫穿至所述ITO接觸面，且截面呈逐漸縮小態勢。

優選地，所述蒸鍍孔包括同軸的第一段和第二段，所述第一段呈喇叭狀，第二段呈喇叭狀或錐形。

優選地，所述蒸鍍板的厚度為18～190μm。

優選地，所述蒸鍍孔在第一段的傾角為35~45度。

優選地，所述第二段為錐形，且錐角為4~10度。

優選地，所述第二段的垂直深度為8～20μm。

優選地，所述第二段的垂直深度不大于第一段的垂直深度。

優選地，所述蒸鍍板的材料為鎳鈷合金、鎳鐵合金、銦瓦合金中的任意一種，厚度為18～45μm。

本實用新型采用在蒸鍍面上沿同一方向加工出蒸鍍孔的第一段和第二段，使蒸鍍孔的尺寸在蒸鍍板上呈現出逐漸縮小的態勢，克服了傳統工藝中出現的死角區域，使得在應用于蒸鍍時，有機發光顆粒可以較大限度地到達玻璃基板上的預定位置，從而提高了OLED顯示屏的質量，提高了有機發光材料的使用率和成膜率，降低了OLED顯示屏的制造成本，并可有效延長蒸鍍罩的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例中OLED蒸鍍罩的結構示意圖。

圖2是本實用新型實施例中OLED蒸鍍罩的實施效果圖。

本實用新型目的的實現、功能特點及優點將結合實施例，參照附圖做進一步說明。

具體實施方式

以下將結合附圖及具體實施例詳細說明本實用新型的技術方案，以便更清楚、直觀地理解本實用新型的發明實質。

圖1是本實用新型實施例中OLED蒸鍍罩的結構示意圖；圖2是本實用新型實施例中OLED蒸鍍罩的實施效果圖。

參照圖1和圖2所示，本實施例提供一種OLED蒸鍍罩，其包括蒸鍍板1，蒸鍍板1包括ITO接觸面11和蒸鍍面12，蒸鍍板1上設置有多個呈中心對稱狀的蒸鍍孔2，蒸鍍孔2自蒸鍍面12貫穿至ITO接觸面11，且截面呈逐漸縮小態勢。

具體地，蒸鍍孔2包括同軸設置的第一段21和第二段22，其中，第一段21呈喇叭狀，并位于蒸鍍面12的一側；第二段22呈喇叭狀或錐形，位于ITO接觸面11的一側。