[實用新型]化學藥液供給系統

有效

• 申請號: 201220717785.0
• 申請日: 2012-12-21
• 公開（公告）號: CN203131429U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 初國超;何金群;裴立坤;王銳廷;王營營
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F17D1/14
• 分類號: F17D1/14;F17D3/01
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本實用新型涉及自動化控制技術領域，特別涉及一種化學藥液供給系統。

背景技術

在半導體行業中，在很多工序上都會使用到各種化學藥液，而在工藝過程中使用的化學藥液原液都是由設備外部提供，再根據自身工藝要求在設備內部進行一定比例的稀釋或混合。現階段市場上的化學藥液原液大多是已經按照一定體積灌裝好的標準品，所以在半導體行業中便需要一套能夠將灌裝好的化學藥液輸送到不同設備去的化學藥液供給系統。由于所輸送的化學藥液多為濃度較高的酸性或堿性液體，具有較強的腐蝕性和危險性，同時也要防止外界環境對藥液造成污染，以免影響半導體工藝效果，所以在輸送過程中要避免藥液與操作人員直接接觸或直接暴露于工作環境中。同時，由于半導體行業的連續作業以及工藝對藥液流量的要求，如果在工藝過程中出現藥液供給突然間斷將會造成重大影響。現有藥液檢測大多是提前檢測，即使用液位傳感器檢測灌裝原液的最低液位，當到達設定的最小體積時就要更換原液，這樣雖然避免了藥液供給中斷的危險，但會造成一定程度的浪費。

發明內容

（一）所要解決的技術問題

本實用新型的目的在于提供一種能夠自動控制化學藥液供給的系統，能夠在不間斷供給的情況下更換藥液儲液罐，液體流動相對封閉，且能夠解決藥液流量變化較大時同一套供液系統不兼容的問題。

（二）技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提出了一種化學藥液供給系統，所述系統包括主用儲液罐、備用儲液罐、供液裝置和控制器，其中：

所述供液裝置分別與所述主用儲液罐、所述備用儲液罐以及所述控制器相連接；

所述主用儲液罐及所述備用儲液罐用于儲存并提供化學藥液；

所述供液裝置用于接收所述控制器的指令，并根據所述控制器的指令將所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中的化學藥液輸送給外部設備；

所述控制器用于控制所述供液裝置將所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中的化學藥液輸送給外部設備。

可選的，所述供液裝置具體包括供液管路、供液氣動閥、供液泵和供液出口手閥，其中：

所述供液管路的進液口分別與所述主用儲液罐及所述備用儲液罐的底部相連，所述供液管路的出液口與所述供液出口手閥相連，用于輸送化學藥液；

所述供液氣動閥與所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據所述控制器的指令控制所述供液管路的連通或閉合；

所述供液泵用于將所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中的化學藥液輸送到所述供液出口手閥；

所述供液出口手閥用于將所述供液管路中的化學藥液輸送給外部設備。

可選的，所述供液管路的進液口還安裝有液位傳感器，

所述液位傳感器與所述控制器相連，用于采集所述主用儲液罐或所述備用儲液罐的液位信息，并將所述液位信息傳送給所述控制器。

可選的，所述系統還包括回液裝置，

所述回液裝置分別與所述主用儲液罐、所述備用儲液罐、所述供液裝置及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據所述控制器的指令將所述供液管路中的部分化學藥液回送到所述主用儲液罐或所述備用儲液罐。

可選的，所述回液裝置具體包括回液管路、回液氣動閥和針閥，其中，

所述回液管路的一端與所述供液管路的出液口相連，另一端分別與所述主用儲液罐及所述備用儲液罐相連，用于回送化學藥液；

所述回液氣動閥與所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據所述控制器的指令控制所述回液管路的連通或閉合；

所述針閥用于調節所述回液管路的開度。

可選的，所述供液裝置還包括藥液循環子裝置，

所述藥液循環子裝置分別與所述主用儲液罐、所述備用儲液罐及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據所述控制器的指令將所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中的化學藥液通過管路循環的方式混合均勻。

可選的，所述系統還包括補氣裝置，

所述補氣裝置分別與所述主用儲液罐、所述備用儲液罐及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據所述控制器的指令向所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中補充氮氣。

可選的，所述補氣裝置還包括超壓溢流單向閥，

所述超壓溢流單向閥分別與所述主用儲液罐及所述備用儲液罐的頂部相連，用于調節所述主用儲液罐及所述備用儲液罐中的氣體壓力，使其始終小于設定閾值。

可選的，所述系統還包括清洗裝置，

所述清洗裝置分別與所述供液裝置及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據所述控制器的指令對所述供液管路進行清洗。

可選的，所述系統還包括干燥裝置，