[實用新型]一種腔室氣流控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220710291.X
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN203002142U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設計）人: 張明;徐俊成;馬嘉
• 申請（專利權）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: B01D46/46
• 分類號: B01D46/46
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種腔室氣流控制系統(tǒng)，其特征是，該系統(tǒng)包括：

至少一個腔室控制單元，用于根據(jù)PCC控制器的控制指令對腔室的氣體壓力進行控制，所述腔室控制單元之間通過網(wǎng)線串聯(lián)；

和所述腔室控制單元連接的PCC控制器，用于接收所述腔室的數(shù)據(jù)并向所述腔室控制單元發(fā)送控制指令。

2.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征是，所述腔室控制單元包括：

壓力傳感器，用于測量腔室內(nèi)外的氣體壓力差值，并將所述氣體壓力差值發(fā)送給數(shù)據(jù)處理單元；

風機過濾器，用于根據(jù)所述控制指令控制所述風機過濾器的風扇的轉速；

和所述風機過濾器連接的狀態(tài)檢測單元，用于檢測并發(fā)送所述風機過濾器的風扇的轉速數(shù)據(jù)給數(shù)據(jù)處理單元；

與所述壓力傳感器、風機過濾器和狀態(tài)檢測單元連接的數(shù)據(jù)處理單元，用于對接收的數(shù)據(jù)進行預處理并發(fā)送給數(shù)據(jù)傳輸單元；

和所述數(shù)據(jù)處理單元連接的數(shù)據(jù)傳輸單元，用于將所述數(shù)據(jù)處理單元輸出的數(shù)據(jù)和其他數(shù)據(jù)傳輸單元發(fā)來的數(shù)據(jù)發(fā)送給PCC控制器或與該數(shù)據(jù)傳輸單元連接的下一個數(shù)據(jù)傳輸單元。

3.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征是，所述PCC控制器和串聯(lián)在一起的腔室控制單元的首端的腔室控制單元或尾端的腔室控制單元連接。

4.根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征是，所述壓力傳感器為Setra265差壓傳感器。

5.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征是，所述PCC控制器為貝加萊PCC可編程計算機控制器。

6.根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征是，所述狀態(tài)檢測單元為CS1030通訊模塊。