[實(shí)用新型]多溫區(qū)溫度控制系統(tǒng)以及反應(yīng)腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220682566.3
• 申請(qǐng)日: 2012-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN203287798U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 寧海濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光壘光電科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G05D23/22
• 分類號(hào): G05D23/22;G05D23/30;G05B11/42
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 王宏婧

1.一種多溫區(qū)溫度控制系統(tǒng)，用于控制多個(gè)加熱區(qū)的加熱溫度，其特征在于，包括：用于分別對(duì)應(yīng)加熱所述多個(gè)加熱區(qū)的多個(gè)加熱單元；用于從一個(gè)加熱區(qū)獲得反饋信號(hào)的反饋信號(hào)獲得單元；用于基于所述反饋信號(hào)獲得多個(gè)矯正信號(hào)的矯正處理單元，每一矯正信號(hào)對(duì)應(yīng)于每一加熱區(qū)；基于每一加熱區(qū)的矯正信號(hào)與目標(biāo)信號(hào)比較獲得每一加熱區(qū)的比較信號(hào)并基于每一加熱區(qū)的比較信號(hào)形成控制信號(hào)的控制信號(hào)形成單元，所述控制信號(hào)用于控制所述加熱單元對(duì)所述加熱區(qū)的加熱，所述反饋信號(hào)為所述加熱區(qū)的溫度信號(hào)或紅外輻射信號(hào)。?

2.如權(quán)利要求1所述的多溫區(qū)溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述反饋信號(hào)為溫度信號(hào)，所述反饋信號(hào)獲得單元包括：用于測(cè)試加熱區(qū)溫度的熱電偶。?

3.如權(quán)利要求1所述的多溫區(qū)溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制信號(hào)形成單元包括：?

用于基于每一加熱區(qū)的矯正信號(hào)與目標(biāo)信號(hào)比較獲得每一加熱區(qū)的比較信號(hào)的比較單元；?

用于基于每一加熱區(qū)的比較信號(hào)形成控制信號(hào)的控制單元，所述控制信號(hào)為所述加熱單元的電流信號(hào)或電壓信號(hào)。?

4.如權(quán)利要求3所述的多溫區(qū)溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元為PI控制單元或PID控制單元。?

5.一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔室，其特征在于：所述反應(yīng)腔室包括：?

如權(quán)利要求1所述的多溫區(qū)溫度控制系統(tǒng)；?

所述加熱單元，用于輸出加熱功率；?

托盤，設(shè)置于所述加熱單元上；以及?

襯底，設(shè)置于所述托盤上；?

其中，所述加熱區(qū)為托盤的上表面、下表面、或襯底上表面。?