[實用新型]四針彈性三步晶粒頂出機構

有效

• 申請號: 201220682249.1
• 申請日: 2012-12-11
• 公開（公告）號: CN202977394U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 王淑香;王巖
• 申請（專利權）人: 蘇州密卡特諾精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡

1.一種四針彈性三步晶粒頂出機構，包括一端蓋以及一驅動結構，其特征在于：還包括一頂出結構，其中：

所述端蓋上布設有若干氣孔，且端蓋的中部開設有一通孔；

所述驅動結構包括一底座、一主軸、一定位塊、一第一載體、一第二載體、一第一彈簧、一第二彈簧以及一定位銷；所述底座的中心與主軸的底端固定，底座的下部與系統的一傳動部份定位連接；所述主軸的頂端開設有一與主軸同軸的裝配孔；所述定位塊套設于該主軸的外部，與主軸滑動連接，并與底座同軸設置；所述定位塊與底座之間通過所述第一彈簧彈性定位連接，且該定位塊與底座之間具有一第一壓縮空間；該第一彈簧的一端抵靠于定位塊的下部，另一端抵靠于該底座的上部；所述第一載體套設于主軸外部，與主軸滑動連接，第一載體下部的外周壁與所述定位塊緊配合；所述第二載體套設于第一載體上部的外周壁，與第一載體滑動連接，且第二載體與定位塊之間通過所述第二彈簧彈性定位連接，且該第二載體與定位塊之間具有一第二壓縮空間；該第二彈簧的一端抵靠于第二載體上，另一端抵靠于定位塊的上部；所述定位銷設于第一載體、定位塊和底座之間，以在周向上定位三者；

所述頂出結構由內而外依次由一頂出平臺、一頂出框體以及至少四個頂出柱組成；其中，所述頂出平臺通過所述主軸的裝配孔與主軸固定連接，所述頂出框體與所述第一載體固定連接，所述至少四個頂出柱與所述第二載體固定連接；所述頂出結構的頂出平臺、頂出框體以及頂出柱設于所述端蓋的通孔內，且常態時不凸出于端蓋的表面；

所述第一彈簧的彈性系數大于第二彈簧。

2.根據權利要求1所述的晶粒頂出機構，其特征在于：還包括一第一襯套，該第一襯套設于主軸與第一載體之間，通過其內壁與主軸滑動連接，通過其外壁與第一襯套緊配合。

3.根據權利要求1所述的晶粒頂出機構，其特征在于：還包括一第二襯套，該第二襯套設于第一載體與第二載體之間，通過其內壁與第一載體滑動連接，通過其外壁與第二襯套緊配合。