[實用新型]一種圓桶形工件的電化學沉積設備有效
| 申請號： | 201220675411.7 | 申請日： | 2012-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN202954117U | 公開（公告）日： | 2013-05-29 |
| 發明（設計）人： | 郭偉民;黃迎春;廖成;李穎鑫;李世楚;毛良坤;梅軍;劉煥明 | 申請（專利權）人： | 中物院成都科學技術發展中心 |
| 主分類號： | C25D7/04 | 分類號： | C25D7/04;C25D5/08;C25D21/10 |
| 代理公司： | 四川力久律師事務所 51221 | 代理人： | 王蕓;劉雪蓮 |
| 地址： | 610200 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 圓桶 工件 電化學 沉積 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種圓桶形工件的電化學沉積設備，包括電化學沉積槽以及設置于沉積槽內用于藥液流動的多組管道，其特征在于，所述每組管道包括中心線相互平行的吸管和噴管，所述管道上開有孔洞。
2.根據權利要求1所述的圓桶形工件的電化學沉積設備，其特征在于，所述多組管道以圓桶形工件中心均布，且管道中心線平行于圓桶形工件的中心線；所述吸管和噴管沿圓桶形工件徑向分布。
3.根據權利要求2所述的圓桶形工件的電化學沉積設備，其特征在于，所述每組管道包括一根吸管和一根噴管。
4.根據權利要求3所述的圓桶形工件的電化學沉積設備，其特征在于，所述吸管與噴管上的孔洞為一條或多條狹窄的長條孔。
5.根據權利要求4所述的圓桶形工件的電化學沉積設備，其特征在于，所述管道直徑小于圓桶形工件直徑的五分之一。
6.根據權利要求1至5項中任意一項所述的圓桶形工件的電化學沉積設備，其特征在于，所述多組管道設置于圓桶形工件內。
7.根據權利要求1至5項中任意一項所述的圓桶形工件的電化學沉積設備，其特征在于，所述多組管道設置于圓桶形工件外。
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