[實用新型]一種MEMS結構的掃描標準具有效
| 申請號： | 201220672264.8 | 申請日： | 2012-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN202975471U | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 吳礪;賀坤;劉國宏 | 申請（專利權）人： | 福州高意通訊有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/10 | 分類號： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 福州君誠知識產權代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 結構 掃描 標準 | ||
【權利要求書】：
1.一種MEMS結構的掃描標準具，其包括光纖、微透鏡、光電二極管或接受光纖，其特征在于：所述的光纖光輸出端面設有反射膜，光輸出端設有微型凸透鏡，所述的微型凸透鏡和微透鏡之間設有MEMS活動片，所述的光纖與MEMS活動片構成共焦腔掃描標準具，掃描標準具的焦點在MEMS活動片端面上。
2.根據權利要求1所述的一種MEMS結構的掃描標準具，其特征在于：所述的微型凸透鏡為氣溶膠成型，表層設有氬層。
3.根據權利要求1所述的一種MEMS結構的掃描標準具，其特征在于：所述的微型凸透鏡與MEMS活動片間距5-50μm。
4.根據權利要求1所述的一種MEMS結構的掃描標準具，其特征在于：所述的光纖為TEC光纖。
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