[實(shí)用新型]用于步進(jìn)光刻設(shè)備的微位移機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220660693.3
• 申請日: 2012-12-04
• 公開（公告）號: CN203037993U
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭紹輝
• 申請（專利權(quán)）人: 彩虹（佛山）平板顯示有限公司
• 主分類號: G03F7/207
• 分類號: G03F7/207
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

1.一種用于步進(jìn)光刻設(shè)備的微位移機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括上楔形塊(5)和下楔形塊(4)，在這兩個楔形塊的斜面之間安裝有至少2根滾針(6)，從而使兩個楔形塊能相對移動，其中在上楔形塊(5)上固定有工件臺的臺板，而下楔形塊(4)通過至少2根滾針(6)安裝在工件臺的底面(2)上，從而使下楔形塊(4)能沿該底面(2)移動，另外還包括一驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1)，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1)通過一絲杠(8)與下楔形塊(4)連接，從而能將驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1)輸出的回轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動進(jìn)而帶動下楔形塊(4)直線移動。

2.如權(quán)利要求1所述的一種用于步進(jìn)光刻設(shè)備的微位移機(jī)構(gòu)，其特征在于：其中在工件臺的臺板兩側(cè)設(shè)有擋板，從而使工件臺的臺板僅能上下直線移動。

3.如權(quán)利要求1或2所述的一種用于步進(jìn)光刻設(shè)備的微位移機(jī)構(gòu)，其特征在于：其中在上楔形塊(5)和下楔形塊(4)上分別設(shè)有一塊電極板(7)，并且在該兩塊電極板(7)上均設(shè)有接線端子。

4.如權(quán)利要求1或2所述的一種用于步進(jìn)光刻設(shè)備的微位移機(jī)構(gòu)，其特征在于：其中驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1)采用電動機(jī)。