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[實用新型]一種真空吸筆有效

專利信息
申請號: 201220620108.7 申請日: 2012-11-19
公開(公告)號: CN202940224U 公開(公告)日: 2013-05-15
發明(設計)人: 劉成龍 申請(專利權)人: 尚德太陽能電力有限公司;無錫尚德太陽能電力有限公司
主分類號: H01L21/683 分類號: H01L21/683;H01L31/18
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 201112 上海*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 真空
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及太陽電池制造領域,特別涉及一種真空吸筆。

背景技術

在晶體硅太陽電池的生產線上,有些工藝步驟例如清洗、擴散、刻蝕和PECVD(等離子增強化學氣相沉積)等需通過操作人員使用真空吸筆在清洗承載盒(或石英舟或石墨舟)與硅片堆疊盒之間轉移硅片,所述真空吸筆通常采用對硅片無污染的石英材料制成。所述真空吸筆通常由筆桿和吸盤兩部分組成,所述筆桿連接在真空管道上,所述筆桿上會開設一個控制孔,操作人員通過堵塞控制孔來在吸盤上形成真空吸附力以吸附硅片。

為確保太陽電池生產的潔凈度,操作人員在生產線上通常會帶乳膠手套進行操作,但使用真空吸筆時,乳膠手套易被吸進筆桿中,此時只能帶汗布手套或徒手進行操作,但當取放產品時,汗布手套或手指易污染硅片導致所形成的太陽電池色斑或降級。

現有常規的真空吸筆在不使用時也會開啟即保持真空吸附功能,但真空吸筆在開啟的時間中最多會有22%的使用率,但其一直開啟不停的吸進空氣,會增大真空系統運行的能耗;再者真空吸筆在未使用時會持續將空氣中的灰塵吸入真空系統的管道,加大真空系統的負擔,給真空系統的穩定帶來干擾,同時也對系統的管道壓力產生干擾。

因此,如何提供一種真空吸筆以解決不間斷吸氣進真空系統對其穩定性和潔凈度造成不良影響的問題,已成為業界亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是要提供一種真空吸筆,通過所述真空吸筆可有效提高真空系統的潔凈度和穩定性。

為實現上述目的,本實用新型提供一種真空吸筆,包括筆桿和吸盤,所述筆桿具有第一端和第二端,所述筆桿的第一端連接至真空系統,第二端連接至吸盤,所述筆桿靠近中部徑向開設有凹槽,一控制塊通過一彈性件彈性設置在凹槽中且在被按壓時沿凹槽移動,所述控制塊將筆桿分割成靠近第一端的第一腔室和靠近第二端的第二腔室,所述第一腔室與真空系統連通且通過控制塊密封,所述第二腔室與吸盤連通,所述控制塊上沿所述筆桿軸向開設有連通氣孔,所述控制塊未被按壓時,所述連通氣孔未連通第一腔室和第二腔室,所述控制塊被按壓且使彈性件彈性變形至一預設形變范圍時,所述連通氣孔連通第一腔室和第二腔室。

在一較佳實施例中,所述筆桿的第一端通過一快速接頭連接至所述真空系統。

在一較佳實施例中,所述預設形變范圍為彈性件彈性變形長度占彈性件未變形總長度的30%至80%。

在一較佳實施例中,所述連通氣孔軸向與筆桿軸向的夾角為0至30度。

在進一步的較佳實施例中,所述連通氣孔與筆桿軸向的夾角為30度,所述連通氣孔在控制塊未被按壓時與第二腔室連通,所述筆桿臂上開設有與外界連通的常壓氣孔,所述連通氣孔與常壓氣孔連通。

在一較佳實施例中,所述彈性件未與控制塊相連接的一端固定連接在所述凹槽的槽底。

在一較佳實施例中,所述控制塊和彈性件設置在一導筒中,所述導筒設置在所述筆桿的凹槽中,用于引導控制塊沿所述筆桿上的凹槽方向被按壓而運動,所述導筒對應連通氣孔的運動軌跡區域開設有導槽。

在一較佳實施例中,所述筆桿與吸盤為分體結構,所述吸盤具有吸盤管,所述筆桿第二端的槽壁上設置有密封墊圈,所述吸盤管通過密封墊圈與筆桿連通連接。

在一較佳實施例中,所述筆桿與吸盤為分體結構,所述筆桿與吸盤為分體結構,所述筆桿的第二端設置有卡扣孔,所述吸盤對應的連接端設置有與卡扣孔相匹配的卡扣榫,所述筆桿和吸盤通過卡扣孔和卡扣榫的結合相連接。

在一較佳實施例中,所述筆桿與吸盤為分體結構,所述筆桿的材質為聚乙烯、聚氯乙烯或聚丙烯,所述吸盤的材質為石英玻璃。

與現有技術中真空吸筆不間斷吸氣進真空系統對真空系統的穩定性和潔凈度造成不良影響相比,本實用新型的真空吸筆在真空吸筆的筆桿靠近中部開設凹槽,且在凹槽中設置控制塊,所述控制塊使真空吸筆在不使用時真空系統被阻斷,所述控制塊沿筆桿徑向開設有連通氣孔,在真空吸筆使用時,通過按壓控制塊使吸盤通過連通氣孔連接至真空系統,本實用新型可在不使用真空吸筆時阻斷真空,避免持續吸氣進真空系統導致的潔凈度和穩定性降低的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型的真空吸筆的實施例的組成結構組裝示意圖;

圖2為本實用新型的真空吸筆的實施例的組成結構分裝示意圖;

圖3為圖2中的A-A向剖視圖;

圖4為本實用新型的真空吸筆的實施例的工作狀態示意圖。

具體實施方案

下面結合具體實施例及附圖來詳細說明本實用新型的目的及功效。

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