[實(shí)用新型]晶圓轉(zhuǎn)移裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220610660.8
• 申請(qǐng)日: 2012-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN202917461U
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃永蓮;高娜;劉傳軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括一底座，所述底座的上表面設(shè)有兩組卡槽，兩個(gè)晶圓盒分別通過所述兩組卡槽相對(duì)式安裝于所述底座上，所述底座上還設(shè)有用于將晶圓從一個(gè)晶圓盒轉(zhuǎn)移至另一個(gè)晶圓盒的晶圓移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述晶圓移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳輸手臂、連桿和滑塊，所述底座的底部設(shè)有滑槽，所述滑塊的一部分卡合于所述滑槽內(nèi)，所述連桿的一端與所述滑塊固定連接，所述連桿的另一端與所述傳輸手臂固定連接，所述傳輸手臂具有一用于推動(dòng)所述晶圓的豎向擋板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述晶圓移動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括一手柄，所述手柄與所述滑塊固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述傳輸手臂還包括水平板和豎向連接板，所述水平板的一端與所述豎向擋板的下端固定連接，所述水平板的另一端與所述豎向連接板的上端固定連接，所述連桿的另一端與所述豎向連接板的下端固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述底座的四周下方設(shè)有支撐腳。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述底座的上表面間隔設(shè)置兩條凸條，所述兩條凸條的兩側(cè)分別開設(shè)一凹槽，所述兩條凸條的兩側(cè)的凹槽形成所述兩組卡槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任意一項(xiàng)所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述底座由防靜電材料制成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述防靜電材料是尼龍或聚氯乙烯或聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯。