[實(shí)用新型]晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220598383.3
• 申請(qǐng)日: 2012-11-13
• 公開（公告）號(hào): CN202989276U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許慶豐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 許慶豐
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54;C23C16/52
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，其特征在于：主要由固定板、調(diào)整臺(tái)、調(diào)整裝置及數(shù)字千分表所組成，該固定板的端邊開設(shè)有通孔，定位桿插置于通孔以連結(jié)固定板與調(diào)整臺(tái)，使固定板能隨著調(diào)整臺(tái)的調(diào)整而同步移動(dòng)，該調(diào)整裝置的調(diào)整桿套入調(diào)整臺(tái)的調(diào)整通孔，圓頭墊圈、差動(dòng)螺帽、微調(diào)手輪及固定螺帽依序套入該調(diào)整桿內(nèi)，該調(diào)整裝置設(shè)有能夠通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)控制調(diào)整臺(tái)兩端的水平距離的差動(dòng)螺帽及微調(diào)手輪，在調(diào)整臺(tái)的側(cè)邊對(duì)應(yīng)于該差動(dòng)螺帽處設(shè)置有定位板，在調(diào)整臺(tái)的端邊設(shè)置有該數(shù)字千分表。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，其特征在于：該微調(diào)手輪底端設(shè)置一歸零螺帽。