[實用新型]一種氣體管路裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220587802.3
• 申請日: 2012-11-08
• 公開（公告）號: CN202898535U
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設計）人: 陳平;魯一能;何海濤;黃良吉
• 申請（專利權）人: 上海神舟新能源發(fā)展有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 林君如

技術領域

本實用新型涉及一種管道設備，尤其是涉及一種氣體管路裝置。

背景技術

目前，Roth&Rau?SINA2機臺的第五根氣路使用的是三段式氣路來進行特氣供給，以確保PM腔的正常工藝生產。該氣路主要有以下缺陷：1、兩邊的支管氣路太短(只有3個氣孔)，中間主氣路太長，導致支管氣路噴出的特氣無到達石墨框兩邊的硅片上，無達到調節(jié)硅片膜厚/折射率片間均勻性的效果。2、氣路兩端封口的螺絲都為內六角型，其內六角口經常會有氮化硅集結而堵住，導致拆卸困難甚至會損壞該管路。

實用新型內容

本實用新型的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術存在的缺陷而提供一種有效調節(jié)氣量、均勻性較好且拆卸方便的氣體管路裝置。

本實用新型的目的可以通過以下技術方案來實現(xiàn)：

一種氣體管路裝置，安裝于SINA2PM腔，提供生產工藝所需特氣，并能有效調節(jié)片間膜厚/折射率的均勻性，該氣體管路裝置為三段式結構，由主氣路及兩個支管氣路構成，所述的支管氣路對稱連接在主氣路的兩端，支管氣路的端部通過封口螺絲封端。

所述的主氣路由水平管道及水平管道側部連接的類似于Y型結構的支路構成。

所述的水平管道的長度為580mm，管道上開設有12個氣孔，減少4個氣孔，從而減少其對兩邊硅片工藝的影響。

所述的支路的端部連接有氣路接頭。

所述的支管氣路由水平管道及水平管道側部連接的L型結構的支路構成。

所述的水平管道的長度為240mm，管道上開設有5個氣孔，多增加2個氣孔，從而能增強兩邊氣體的流出，達到調節(jié)片間均勻性的目的。

所述的支路的端部連接有氣路接頭。

所述的封口螺絲為外六角螺絲，便于在手動對管路進行吹掃時，便于拆卸而不損壞到管路，從而延長管路使用壽命。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有以下優(yōu)點：

一、提高機臺所產硅片膜厚/折射率的片間均勻性性：支管氣路增加了氣孔，加強了對石墨框兩邊硅片的工藝影響，達到有效調節(jié)氣量及均勻性的目的。

二、便于拆卸，延長氣路使用壽命：封口螺絲采用外六角設計，易于用對應的開口扳手拆卸而不損傷管路。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中，1為主氣路、2為封口螺絲、3為支管氣路、4為氣路接頭、5為氣孔。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細說明。

實施例

一種氣體管路裝置，安裝于SINA2?PM腔，提供生產工藝所需特氣，并能有效調節(jié)片間膜厚/折射率的均勻性，該氣體管路裝置的結構如圖1所示，為三段式結構，由主氣路1及兩個支管氣路3構成，支管氣路3對稱連接在主氣路1的兩端，支管氣路3的端部通過封口螺絲2封端。

其中，主氣路1由水平管道及水平管道側部連接的類似于Y型結構的支路構成。所述的水平管道的長度減少至580mm，管道上開設有12個氣孔，由于減少4個氣孔，從而減少其對兩邊硅片工藝的影響，支路的端部連接有氣路接頭4。支管氣路3由水平管道及水平管道側部連接的L型結構的支路構成。水平管道的長度增加至240mm，管道上開設有5個氣孔，由于多增加2個氣孔，從而增強兩邊氣體的流出，達到調節(jié)片間均勻性的目的，支路的端部連接有氣路接頭4。使用的封口螺絲2為外六角螺絲，便于在手動對管路進行吹掃時，便于拆卸而不損壞到管路，從而延長管路使用壽命。