[實用新型]一種錐鏡檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220583873.6 | 申請日： | 2012-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN202869452U | 公開（公告）日： | 2013-04-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | 程珂;葉青;魏向榮;施麗敏;李旭峰;査雨;顧亞平 | 申請（專利權）人： | 上?，F(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 200433 上海市楊*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種錐鏡檢測裝置，其特征在于由斐索干涉儀、具有圓形光柵的玻璃基底組成，所述的玻璃基底的A面作為參考平面，B面用光刻法制作成圓形光柵，作為光柵面，所述玻璃基底的光柵面B與所述斐索干涉儀輸出的單色平行光垂直。
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