[實用新型]八個U型槽的板式PECVD特氣管路的控制結構

有效

• 申請號: 201220575402.0
• 申請日: 2012-11-02
• 公開（公告）號: CN202881384U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 何四紅;龔長松
• 申請（專利權）人: 光為綠色新能源股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/52;C30B25/14;C30B25/16
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 劉洪勛

1.一種八個U型槽的板式PECVD特氣管路的控制結構，包括八根U型槽和控制器，每組所述控制器由一個NH₃控制器和一個SiH₄控制器組成，其特征在于，所述控制器為三組或四組，每組所述控制器控制最多四根所述U型槽，當一組所述控制器控制四根所述U型槽時，剩余的其他組所述控制器相應分配控制剩余四根所述U型槽。

2.根據權利要求1所述的八個U型槽的板式PECVD特氣管路的控制結構，其特征在于，每根U型槽僅能通過一組控制器控制。

3.根據權利要求2所述的八個U型槽的板式PECVD特氣管路的控制結構，其特征在于，包括三組控制器，其中一組控制器控制四根U型槽，一組控制器控制三根U型槽，剩余一組控制器相應控制一根U型槽。

4.根據權利要求2所述的八個U型槽的板式PECVD特氣管路的控制結構，其特征在于，包括三組控制器，其中一組控制器控制四根U型槽，剩余每組控制器各控制兩根U型槽。

5.根據權利要求2所述的八個U型槽的板式PECVD特氣管路的控制結構，其特征在于，包括四組控制器，每組控制器各控制兩根U型槽。

6.根據權利要求2所述的八個U型槽的板式PECVD特氣管路的控制結構，其特征在于，包括四組控制器，其中兩組控制器各單獨控制一根U型槽，剩余兩組控制器各單獨控制三根U型槽。