[實用新型]一種硅片拋光系統

有效

• 申請號: 201220566715.X
• 申請日: 2012-10-31
• 公開（公告）號: CN202940264U
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 胡海平;班群;方結彬;何達能;陳剛
• 申請（專利權）人: 廣東愛康太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/306
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種硅片拋光系統，其特征在于，包括：掩膜臺、烘干箱、拋光槽、第一漂洗槽、去掩膜槽、第二漂洗槽、堿洗槽、第三漂洗槽、吹干槽及用于傳輸硅片的傳送機構；

所述掩膜臺、烘干箱、拋光槽、第一漂洗槽、去掩膜槽、第二漂洗槽、堿洗槽、第三漂洗槽及吹干槽依次相連。

2.如權利要求1所述的硅片拋光系統，其特征在于，所述掩膜臺內設有絲網印刷機。

3.如權利要求1所述的硅片拋光系統，其特征在于，所述傳送機構包括傳送帶及傳送滾輪。

4.如權利要求1所述的硅片拋光系統，其特征在于，還包括用于控制所述掩膜臺、烘干箱、拋光槽、去掩膜槽、堿洗槽及吹干槽工作狀態的控制器。

5.如權利要求1所述的硅片拋光系統，其特征在于，所述去掩膜槽內設有超聲波發射器。

6.如權利要求1所述的硅片拋光系統，其特征在于，所述吹干槽內設有氮氣吹風機或壓縮空氣吹風機。