[實用新型]一種金屬薄膜橋點火器有效
| 申請號： | 201220553797.4 | 申請日： | 2012-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN202955726U | 公開（公告）日： | 2013-05-29 |
| 發明（設計）人： | 景濤;白慶星;何迎輝;程文進;黃華山;王玉明;王棟;任偉 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十八研究所 |
| 主分類號： | F23Q13/00 | 分類號： | F23Q13/00;B32B33/00 |
| 代理公司： | 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113 | 代理人： | 馬強 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 薄膜 點火器 | ||
【權利要求書】：
1.一種金屬薄膜橋點火器，其特征在于，所述金屬薄膜橋點火器（1）包括基片（2），設于基片（2）上的過渡膜（3），設于過渡層薄膜（3）上的熱隔離膜（4），設于熱隔離膜（4）上的金屬電阻膜（5），設于金屬電阻膜（5）上的電極薄膜（6），設于電極薄膜（6）上的通孔（13）。
2.如權利要求1所述的金屬薄膜橋點火器，其特征在于，所述基片（2）直徑為100mm～400mm，厚度為30μm～200μm；所述過渡層薄膜（3）厚度為0.05μm～0.1μm；所述熱隔離膜（4）厚度為0.1μm～1μm；所述金屬電阻膜厚（5）度為0.2μm～4μm；所述電極薄膜（6）厚度為0.05μm～0.1μm。
3.如權利要求1所述的金屬薄膜橋點火器，其特征在于，所述基片（2）材料為聚酰亞胺；所述過渡層薄膜（3）材料為Ta2O5；所述熱隔離膜（4）材料為SiO2。
4.如權利要求1所述的金屬薄膜橋點火器，其特征在于，所述金屬電阻膜（5）材料為Ni-Cr合金、Ta2N、Cr、Pt、W中的一種。
5.如權利要求1所述的金屬薄膜橋點火器，其特征在于，所述金屬電阻膜（5）材料為Ni-Cr合金。
6.如權利要求1所述的金屬薄膜橋點火器，其特征在于，所述電極薄膜（6）材料為Au。
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