[實用新型]氦濃度儀

有效

• 申請號: 201220545292.3
• 申請日: 2012-10-24
• 公開（公告）號: CN202837222U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 張果;江鑫;朱思蓮;彭勇
• 申請（專利權）人: 愛發科東方真空（成都）有限公司
• 主分類號: G01N27/18
• 分類號: G01N27/18
• 代理公司: 成都立信專利事務所有限公司 51100
• 代理人: 馮忠亮

1.氦濃度儀，其特征在于傳感器（2）的殼體內的熱傳導式氣敏元件（13）與電阻組成電橋，電橋的輸出腳（12）接放大單元（9），傳感器殼體內有進氣口（3）和排氣口（4），進氣口（3）經微型泵（5）接氣源（11），放大單元的輸出接控制顯示單元（10）。

2.根據權利要求1所述的氦濃度儀，其特征在于所述放大單元由跟隨器、第一單片機、差分放大器、調整電路和測溫芯片構成，電橋的輸出接跟隨器的輸入，跟隨器的輸出一路接第一單片機進行A/D轉換，另一路接第一差分放大器的輸入，第一差分放大器的輸出經電位器和電阻構成的調整電路接第二差分放大器的輸入，第二差分放大器的輸出接第一單片機，第一單片機接測溫芯片18B20，測溫芯片位于傳感器（2）的殼體內，控制顯示單元由第二單片機、LCD顯示屏，鍵盤和驅動芯片組成，驅動芯片輸出接外部PLC。

3.根據權利要求1所述的氦濃度儀，其特征在于所述的第一單片機為STC12C5628AD，第二單片機為STC12C5A60S2，驅動芯片為74HC595，熱傳導式氣敏元件為MD62?熱傳導式氣敏元件。

4.根據權利要求1所述的氦濃度儀，其特征在于所述的微型泵（5）經流量計（6）、過濾器（7）、減壓器（8）接氣源（11）。