[實用新型]環氧高頻率探針卡

有效

• 申請號: 201220536671.6
• 申請日: 2012-10-18
• 公開（公告）號: CN202975069U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 隆英;安奎
• 申請（專利權）人: 上海依然半導體測試有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 胡美強

技術領域

本實用新型涉及一種探針卡，特別是涉及一種環氧高頻率探針卡。

背景技術

現有的高頻芯片測試過程中，基本上是每個需要高頻測試的焊點（PAD）上需要扎一根高頻測試探針。基本上是每個需要高頻測試的PAD上需要扎一根高頻測試探針，每根針需要單獨固定，在測試的過程中因為每個探針間角度等的差異，會導致平整度不好。另由于套管的直徑所限，針尖會與套管會有一定的距離，導致頻率流失。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種環氧高頻率探針卡，其使得所有探針保持角度壓力的一致，在測試的過程中保持較好的平整度，增加測試的可靠性。

本實用新型是通過下述技術方案來解決上述技術問題的：一種環氧高頻率探針卡，其特征在于，其包括SMA接口、金屬套管、絕緣套管、探針、銅片、環氧樹脂包，SMA接口與金屬套管的一端連接，金屬套管的另一端與絕緣套管的一端連接，絕緣套管的另一端與探針固定，銅片包裹住探針，環氧樹脂包套在金屬套管上且靠近探針。

本實用新型的積極進步效果在于：本實用新型使得所有針保持角度壓力的一致，在測試的過程中保持較好的平整度，增加測試的可靠性。

附圖說明

圖1為本實用新型環氧高頻率探針卡的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖給出本實用新型較佳實施例，以詳細說明本實用新型的技術方案。

如圖1所示，本實用新型環氧高頻率探針卡包括SMA（Sub-Miniature-A，稱為“反極性公頭”）接口1、金屬套管2、絕緣套管3、探針4、銅片5、環氧樹脂包6，SMA接口1與金屬套管2的一端連接，金屬套管2的另一端與絕緣套管3的一端連接，絕緣套管3的另一端與探針4固定，銅片5包裹住探針4，環氧樹脂包6套在金屬套管2上且靠近探針4。探針4的下方設有需測試的焊點。

環氧樹脂包套在金屬套管，探針、金屬套管都與絕緣套管固定，這樣環氧樹脂包可以固定探針的位置，使得所有探針保持角度壓力的一致，在測試的過程中保持較好的平整度，增加測試的可靠性，減少維護成本。探針的外面使用銅片包裹并與金屬套管焊接接地，減少了噪聲對測試的影響，大大增加了測試的頻率，可達到10G以上。

本實用新型使用環氧探針卡技術解決高頻探針之間的差異導致的測試不穩定，增加對高頻信號的接地保護，減少噪聲影響。

上述實施例不作為對本實用新型的限定，凡在本實用新型的范圍內所作的任何修改、等同替換、改進等，均屬于本實用新型的保護范圍。