[實(shí)用新型]氣泡釋放閥

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220531752.7
• 申請(qǐng)日: 2012-10-17
• 公開（公告）號(hào): CN202892987U
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳良輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): B01D19/02
• 分類號(hào): B01D19/02
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種氣泡釋放閥，其特征在于：該氣泡釋放閥包括設(shè)有液體輸送管道的閥殼、裝設(shè)于該閥殼內(nèi)用于控制液體輸送通斷的氣動(dòng)閥以及與該氣動(dòng)閥聯(lián)動(dòng)的氣泡釋放裝置；所述氣泡釋放裝置包括與所述液體輸送管道連通的氣泡釋放管道以及一端設(shè)置第一彈簧，另一端與氣動(dòng)閥連接用于控制氣泡釋放管道通斷的滑塊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣泡釋放閥，其特征在于：所述滑塊與氣動(dòng)閥通過固定于閥殼內(nèi)的傳動(dòng)裝置連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣泡釋放閥，其特征在于：所述傳動(dòng)裝置包括至少一個(gè)傳動(dòng)輪以及與傳動(dòng)輪配合的傳動(dòng)帶，該傳動(dòng)帶一端連接滑塊，另一端連接氣動(dòng)閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣泡釋放閥，其特征在于：所述氣動(dòng)閥包括控制所述液體輸送管道通斷的閥芯以及閥控制件，所述閥控制件包括活塞腔、位于所述活塞腔內(nèi)的活塞、一端與活塞腔的頂部接觸、另一端與活塞連接的第二彈簧以及固定在活塞上的連接桿；所述連接桿的一端與所述閥芯連接，另一端穿通所述活塞腔的頂部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣泡釋放閥，其特征在于：所述活塞腔的底部設(shè)有通氣裝置，所述通氣裝置外接氣源。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的氣泡釋放閥，其特征在于：所述滑塊上設(shè)有通孔，在所述閥芯位于所述液體輸送管道內(nèi)阻斷液體輸送時(shí)，所述通孔與所述氣泡釋放管道對(duì)齊導(dǎo)通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣泡釋放閥，其特征在于：所述通孔與所述氣泡釋放管道的橫截面為圓形，所述通孔的直徑小于或等于所述氣泡釋放管道的直徑。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣泡釋放閥，其特征在于：所述氣泡釋放閥進(jìn)一步包括與所述連接桿配合的檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置包括光傳感器以及標(biāo)識(shí)裝置，所述光傳感器固定在所述閥殼的頂部，所述標(biāo)識(shí)裝置與所述光傳感器相連；所述光傳感器包括光發(fā)射端及光接收端，所述光發(fā)射端與所述光接收端之間設(shè)有一容置連接桿的空隙。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣泡釋放閥，其特征在于：所述標(biāo)識(shí)裝置包括第一燈泡及第二燈泡，所述第一燈泡與所述光發(fā)射端相連，所述第二燈泡與所述光接收端相連。