[實用新型]微轉機構

有效

• 申請號: 201220515178.6
• 申請日: 2012-10-09
• 公開（公告）號: CN203006937U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 蕭朝陽
• 申請（專利權）人: 蕭朝陽
• 主分類號: B81C99/00
• 分類號: B81C99/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 董惠石

技術領域

本實用新型是關于一種微轉機構，尤其是指一種具有三軸轉向移動的微轉機構，通過利用兩軸向間夾設有旋轉軸的設置，使微轉動作更為順暢，且可對應所需而搭配微轉平臺組數與驅動機制，達到符合工作件的需求，使其提高加工精度。

背景技術

隨著高科技產業的發展，產制精度的要求也愈來愈高，于工具機、各種產業機械、量測儀器的高精度化，再加上超精密加工機、半導體制程裝置、電子資訊機器、原子力顯微鏡等機具的精度已經由微米、次微米到達微/納米等級。

載具平臺是影響上述機具精度最主要的因素之一，而目前已經有多種型式的載具平臺，如單軸、雙軸或三(多)軸式，而可知的是單軸與雙軸的精度以不符現今的需求；而三(多)軸式主要為以多個驅動系統控制一個以上的軸向運動，包括平移運動與旋轉運動，使其具有多軸同動的特性，如中國臺灣公告第M420825號(CN202264472)一種貼合機工作平臺對位機構，其包括：一支架，其頂面設有一上平臺，而該上平臺中央設有一定位軸座，其四角則分別設有套孔；一升降馬達，設于支架底部，該升降馬達上方設有一螺桿，該螺桿的上端對應設于上平臺的定位軸座；一活動板，設于支架與上平臺間，于其中央設有與螺桿對應的具內螺牙的套軸，其四角則設有對應上平臺其套孔的滑桿；一上活動板，于上平臺上方并與滑桿的上端連接，并于其四角設有座臺；四對位滑動器，設于上活動板其座臺上，該對位滑動器包含有二下滑軌、二下滑座、一上滑軌及一上滑座，其中，二下滑軌設于座臺上，而下滑軌上設于具滑槽的下滑座，該下滑座上則垂直跨設有上滑軌，上滑軌另垂直設有一具滑槽的上滑座；至少四轉盤，設于上滑座外側上方；至少三位移馬達，呈二平行及至少一垂直設于上活動板，其前端設有至少與三對位滑動器其上滑軌及二下滑座連接的螺桿；一工作平臺，設于對位滑動器其上滑座的轉盤。雖此結構設置包含到工作臺升降、位移與偏轉的作動，但其具有組數的限定，因此在大型工作件上會產生精度不足的缺失，同時，軸向的設置為以兩直線運動機制上方設置一轉盤，使其在運動過程會導致有某些角度限制，無法順暢轉動的缺失。

或中國臺灣公告第M429543號一種對位機構，包含：一基座；一平臺；一承載座，設置于該基座并承載該平臺，該承載座包含多個線性滑軌以及一轉動機構，該等線性滑軌沿二互相垂直的方向設置，且其中一線性滑軌的一部分固定于該基座，該轉動機構的一部分固定于該平臺；以及復數個驅動模組，設置于該基座并承載該平臺，該等驅動模組位于該承載座的周圍，并沿二互相垂直的方向設置，各該驅動模組具有一滑軌、一滑塊以及一旋轉體，該滑塊沿該滑軌移動，該滑軌連結于該平臺，該旋轉體連結于該滑塊。而此結構為于中央組設一承載座，因此當基座或平臺的形體無法符合時，該承載座并無法適當組裝于基座，換言之，此結構具有基座限制的缺失。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種微轉機構，以在改善現有技術的缺失，通過利用兩軸向間夾設有旋轉軸的設置，使微轉動作更為順暢，且可對應所需而搭配微轉平臺組數與驅動機制，達到符合工作件的需求，使其提高加工精度。

為此，本實用新型提出一種微轉機構，其于底座上設有至少四微轉平臺組及至少三驅動模組，且多個所述微轉平臺組上方對應組設工作平臺：

所述微轉平臺組為由基板、中承座、轉承座及一上承座所組成，所述基板對應組設在所述底座上，而所述基板上方設有中承座，且所述基板與所述中承座間設有能于第一方向相對位移滑動的滑軌組件，而于所述中承座上方設有轉承座，于所述中承座與所述轉承座間設有能相互旋動的轉軸組件，再于所述轉承座上方設有上承座，于所述轉承座與所述上承座間設有能于第二方向相對位移滑動的滑軌組件，而所述上承座對應與所述工作平臺組設；

所述驅動模組由一動力機構、能經所述動力機構驅動而產生位移的作動件及一連接座所組成，且所述作動件固設于連接座，而所述連接座對應與所述微轉平臺組結合。

如上所述的微轉機構，其中，所述轉軸組件為于所述中承座上對應穿組的一轉軸，而所述轉軸一端定位在所述轉承座上。

如上所述的微轉機構，其中，所述轉軸組件為能于所述中承座與所述轉承座間相互對應轉動的滾子轉盤。

如上所述的微轉機構，其中，所述動力機構為伺服馬達，或音圈馬達，或線性馬達，或壓電馬達。

如上所述的微轉機構，其中，所述動力機構為伺服馬達，或音圈馬達，或線性馬達。

如上所述的微轉機構，其中，所述驅動模組對應設置于所述微轉平臺組的一側邊，所述中承座一側對應與所述連接座結合。