[實用新型]一種半導體鈍化用玻璃料的臥式混料裝置

有效

• 申請號: 201220471528.3
• 申請日: 2012-09-17
• 公開（公告）號: CN202725087U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 陳思太;盛春芳;周濤
• 申請（專利權）人: 淄博晨啟電子有限公司
• 主分類號: B01F9/02
• 分類號: B01F9/02
• 代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司 37205
• 代理人: 張維斗

技術領域

本實用新型涉及一種半導體鈍化用玻璃料的臥式混料裝置。

背景技術

半導體器件的鈍化是保證器件能長時間正常穩定工作的關鍵技術之一，通過在半導體器件表面覆蓋保護介質膜，長期阻止有害雜質對器件表面的沾污，來保證半導體器件的性能的穩定性和可靠性。

半導體鈍化常用溶劑是玻璃料，玻璃料是一種帶有腐蝕性的溶劑。但半導體鈍化工藝有很特殊的嚴格要求，要求此玻璃料溶劑必須具有高清潔度，高均勻性。現在工業生產中常用的混料方法為超聲波混料和立式混膠機混料。超聲波混料雖然在過去的一段時間在工業領域被廣泛應用，但其缺點還是顯而易見的。超聲攪拌無法將各溶劑均勻的混合在一起，溶劑容易受到外界的污染，燥音大，單次量小，效率較低，已經無法滿足當前工業生產的要求。現有的立式混膠機以底座為中心點傳動，混料過程中，易造成內部混合物的分離，使上下兩部分料液濃稀度不一致，均勻性差。且其傳動速率過快，不適合長時間使用。也不能滿足當前工業生產中長時間、高效率穩定生產的要求。因此在半導體鈍化工藝中，對現有的溶劑混料技術作出相應的改進，確保低成本，以達到工業大規模生產的要求是必要的。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題，就是針對目前半導體鈍化工藝中料液混料所存在的不足，而提供的一種半導體鈍化用玻璃料的臥式混料裝置技術方案，該方案使料液混合均勻性好，無污染，可長時間連續工作，且燥音低，制作成本低，操作簡單。

本實用新型方案是通過如下技術措施來實現的：

一種半導體鈍化用玻璃料的臥式混料裝置，包括支架、料罐和傳動系統，所述支架上方橫向安裝轉動軸承，下方安裝傳動馬達，軸承中只有一根軸承由傳動馬達驅動，其余軸承由料罐傳動，且每根軸承都套有橡膠皮保護套，軸承與軸承之間不接觸，間距小于料罐罐體直徑。馬達上設置有速度控制器，控制轉速。料罐橫放在傳動軸承間。

進一步來說，以上所述的支架上安裝軸承的數量至少為兩根，兩根時，由馬達驅動的軸承為任意一根，多于兩根時，為最兩邊軸承中間的一根。

要求支架能承載大約3～7KG左右的重量，軸承可以承受長時間的摩擦與熱量，馬達能夠承受長時間的轉動。

本實用新型采用以一個馬達帶動一個軸承轉動的方式，由軸承間料罐為媒介來轉動另外一根軸承，達到單一控制，多個工作的效果，在很大程度的提高工作效率。且料罐臥式轉動的方式可以更有效的將罐內的料液均勻的混合在一起，避免了立式混膠的分層。并且采用單一的軸承轉動，可以減少軸承的承受能力，可以有效的節省能源，提高設備的使用時間，達到長時間連續工作的目的。

本實用新型裝置混料時，是將料液放置于特定的配料罐內密閉，混料時只做被轉物體的外部接觸、轉動，不會對被轉物體內部料液造成污染，確保了料液的潔凈。

另外，本實用新型所述裝置中，將軸承上套上耐磨的橡膠皮保護套，控制好軸承與軸承之間的距離，可以有效減少燥音，緩解由摩擦造成的軸承的磨損。并且可以一次性多罐同時操作，也可以單次單罐操作，單罐多量也能將料液均勻的混合好，解決了超聲的缺點。

最后本實用新型裝置最大程度上簡化了設備的控制，操作起來簡便，且設備制作簡單，維修方面，使用簡潔，成本低，便于推廣應用。

本方案的有益效果可根據對上述方案的敘述得知，由于在該方案中。

由此可見，本實用新型與現有技術相比，具有實質性特點和進步，其實施的有益效果也是顯而易見的。

附圖說明

?圖1為本實用新型所述半導體鈍化用玻璃料的臥式混料裝置結構簡圖：圖中1為支架，2為傳動馬達，3為驅動軸承，4為傳動軸承，5為料罐。

具體實施方式

為能清楚說明本實用新型的技術特點，下面通過具體實施方式，并結合其附圖，對本實用新型進行進一步闡述。

參考附圖，半導體鈍化用玻璃料的臥式混料裝置包括支架1、料罐5和傳動系統，所述支架能承載大約在3~7KG左右的重量，上方橫向安裝可以承受長時間的摩擦與熱量的軸承，下方安裝一個能夠承受長時間轉動的傳動馬達2，軸承中只有一根軸承由傳動馬達驅動，為驅動軸承3，其余軸承由料罐傳動，為傳動軸承4。且每根軸承都套有橡膠皮保護套，軸承與軸承之間不接觸，間距小于料罐罐體5直徑。馬達2上設置有速度控制器，控制并調節轉速。料罐5橫放在傳動軸承間。

進一步來說，以上所述的支架上安裝軸承的數量至少為兩根，兩根時，由馬達2驅動的軸承為任意一根，多于兩根時，為最兩邊軸承中間的一根。

本實用新型裝置工作時，將規定的一定比例的各溶劑料液放置于特定的配料罐內密閉，要求不能有任何滲漏。將配料罐放置在支架上方的軸承間，開馬達，調節轉速，驅動軸承的機械力轉動的時候帶動罐體本身，再由罐體本身的轉動帶動旁邊的傳動軸承，以此來帶動相鄰的罐體的轉動，這樣一臺設備只需要配備一臺馬達，靠馬達帶動一個軸承的轉動，通過力傳力，可以轉動多根軸承的轉動。本實用新型可以一次性多罐同時操作，也可以單次單罐操作，操作起來簡便，工作效率高。