[實(shí)用新型]多角石墨舟卡釘

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220448141.6
• 申請(qǐng)日: 2012-09-05
• 公開（公告）號(hào): CN202849542U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙福祥;林佳繼;趙同榮;崔美麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 韓華新能源（啟東）有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/458
• 分類號(hào): C23C16/458;H01L31/18;H01L21/673
• 代理公司: 南通市永通專利事務(wù)所 32100
• 代理人: 葛雷

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)電池生產(chǎn)的過程中使用的石墨舟。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝流程中，PECVD工藝過程形成減反射膜，膜的作用是既能降低對(duì)太陽(yáng)光的反射，又能對(duì)電池有很好的鈍化效果。此工藝過程需要高的潔凈度和長(zhǎng)時(shí)間的高溫等離子體反應(yīng)過程，膜直接沉積在硅片表面，卡釘?shù)母采w面積越大，對(duì)膜的質(zhì)量影響越大。長(zhǎng)時(shí)間的等離子過程，對(duì)卡釘?shù)谋砻嬉灿懈g，從而影響硅片的固定。

傳統(tǒng)的PECVD用石墨舟卡釘采用的是圓形的或菱形（有兩個(gè)角為鈍角）的設(shè)計(jì)，要么對(duì)膜的覆蓋面積過大，要么使用壽命較短。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)合理，可以減小卡釘對(duì)膜的覆蓋尺寸、延長(zhǎng)卡釘使用壽命的多角石墨舟卡釘。

本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是：

一種多角石墨舟卡釘，其特征是：包括圓形本體，圓形本體的兩側(cè)設(shè)置多角形卡釘件，且所述多角形卡釘件的每個(gè)角均為銳角，圓形本體為可旋轉(zhuǎn)形式。

相鄰兩個(gè)銳角的連接段為弧形段。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，既可以減小卡釘對(duì)膜的覆蓋尺寸，提高膜的質(zhì)量，又可以延長(zhǎng)卡釘?shù)氖褂脡勖?/p>

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1的側(cè)面視圖。

圖3是實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖3的側(cè)面視圖。

圖5是實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是圖5的側(cè)面視圖。

圖7是實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是圖7的側(cè)面視圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1：

一種多角石墨舟卡釘，包括圓形本1，圓形本體的兩側(cè)設(shè)置三角形卡釘件2、3，且所述三角形卡釘件的每個(gè)角均為銳角，圓形本體為可旋轉(zhuǎn)形式。

實(shí)施例2：

卡釘件為四角形，相鄰兩個(gè)銳角的連接段為弧形段。其余同實(shí)施例1。

實(shí)施例3：

卡釘件為五角形。其余同實(shí)施例2。

實(shí)施例4：

卡釘件為六角形。其余同實(shí)施例2。