[實用新型]一種懸浮粒子檢測裝置

有效

• 申請號: 201220446079.7
• 申請日: 2012-09-03
• 公開（公告）號: CN202793992U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 徐濤
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01N15/14
• 分類號: G01N15/14
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

技術領域

本實用新型屬于潔凈技術領域，具體涉及一種懸浮粒子檢測裝置，特別涉及一種應用于氣體環境下的懸浮粒子檢測裝置。

背景技術

在半導體、液晶顯示器、太陽能轉換裝置等精密器件的生產過程中，由于其加工對象往往是微米級甚至是納米級的精密器件，因此用于制造這些精密器件的工藝設備的潔凈程度，特別是工藝設備機臺工作面上的懸浮粒子濃度會直接影響這些精密器件的加工品質。

現有技術中一般采用手持式或在線式的激光型粒子計數器實時檢測工藝設備所處的工作環境中的懸浮粒子濃度，所述激光型粒子計數器采用空間定點恒速氣流采樣的工作方式，即將采樣空氣導入激光計數器中以粒子計數的方式進行懸浮粒子濃度測試，但由于實際生產過程中加工件（精密器件）會頻繁取放，使得工藝設備所處的工作環境中的氣流變化劇烈，造成氣流擾動，當工作環境中的氣流發生擾動時，導入激光計數器中的氣流變得極不穩定，會導致激光型粒子計數器工作異常、數據失真，因而激光型粒子計數器在氣流擾動的狀態下無法正常工作；而且現有的激光型粒子計數器受工藝設備結構及設置位置的制約，無法對工藝設備機臺內部，特別是機臺工作面上的懸浮粒子濃度進行有效檢測。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術中所存在的上述缺陷，提供一種不受工藝設備結構及設置位置的制約，且能夠實時、有效地檢測工藝設備內部以及機臺工作面上的懸浮粒子濃度情況的懸浮粒子檢測裝置。

解決本實用新型技術問題所采用的技術方案是：

所述懸浮粒子檢測裝置包括：光源、攝像單元以及檢測結果輸出單元；所述光源用于向懸浮粒子待測區域發射光線；所述攝像單元用于實時獲取待測區域內懸浮粒子的圖像，并將所述圖像發送給所述檢測結果輸出單元；所述檢測結果輸出單元用于根據所述攝像單元發送的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結果。

可選地，所述檢測裝置還包括圖像處理單元，其分別與攝像單元和檢測結果輸出單元相連，用于實時接收攝像單元獲取的所述待測區域內懸浮粒子的圖像，并將所述圖像處理后實時發送給所述檢測結果輸出單元；所述檢測結果輸出單元用于根據所述圖像處理單元發送的處理后的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結果；

其中，所述圖像處理單元對圖像的處理包括對圖像的放大、亮度增強、色彩對比度增強中的至少一種。

可選地，所述圖像處理單元對圖像進行放大時，放大倍數為10⁴~10⁶倍。

可選地，所述圖像處理單元包括光電倍增管。

可選地，所述檢測裝置還包括吸光單元，所述吸光單元用于吸收光源發射的經過所述懸浮粒子待測區域后的光線。

可選地，所述吸光單元具有表面粗糙漫反射的結構。

可選地，所述吸光單元的材質為黑色碳帶。

可選地，所述光源發射的光線為可見光或能夠被所述攝像單元采集到的非可見光。

可選地，所述光源所發射光線的波長為532nm±20nm。

可選地，所述光源采用發光體為光電二極管的光源，其功率的調整范圍為20w~80w。

可選地，所述光源的功率為20w~80w，所述攝像單元與所述懸浮粒子待測區域之間的距離為100cm~500cm。

可選地，所述懸浮粒子待測區域內的氣流速度不超過5m/s時，所述攝像單元的拍攝頻率為50Hz~60Hz。

可選地，所述圖像處理單元還用于根據接收到的圖像進行數據運算并將數據運算結果發送給所述檢測結果輸出單元；所述檢測結果輸出單元輸出的所述懸浮粒子檢測結果為所述圖像處理單元發送來的圖像和/或所述數據運算結果；

其中，所述數據運算結果包括以下結果中的至少一種：

所接收到的圖像中單位面積內大于或等于預設粒徑尺寸的懸浮粒子的個數；所接收到的圖像中單位面積內不同粒徑尺寸范圍內的懸浮粒子個數比、或者單位面積內不同粒徑尺寸范圍內的懸浮粒子個數在隨時間變化的曲線圖或單位時間變化率。

可選地，所述檢測裝置還包括警報單元，所述警報單元與所述圖像處理單元相連，所述警報單元用于實時接收圖像處理單元輸出的所述數據運算結果，并將所述數據運算結果與其內預設的預警閾值進行比較，當所述數據運算結果大于或等于所述預警閾值時，發出預警提示。

可選地，所述檢測裝置包括的各個單元通過箱體集中設置，所述檢測結果輸出單元的顯示屏設置在所述箱體的外表面上；或者，所述檢測裝置包括的各個單元采用分散式設置方式，所述檢測結果輸出單元通過無線信號與所述圖像處理單元進行通信。

有益效果：