[實用新型]一種集群磁流變-化學機械復合拋光裝置

有效

• 申請號: 201220423641.4
• 申請日: 2012-08-24
• 公開（公告）號: CN202684651U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 路家斌;祝江亭;潘繼生;閻秋生;高偉強
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 林麗明

1.一種集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于包括有機架（1）、工件安裝旋轉裝置、拋光裝置和循環裝置，其中工件安裝旋轉裝置包括有晶片貼盤（10）、電主軸（11）、夾具（12）、Z向驅動裝置，其中電主軸（11）與Z向驅動裝置連接，并與機架（1）的垂直導軌匹配，晶片貼盤（10）通過夾具（12）安裝在電主軸（11）的下端，拋光裝置包括有X向運動平臺（4）、Y向運動平臺（2）、拋光盤（8），其中Y向運動平臺（2）直接安裝在機架（1）上，X向運動平臺（4）安裝在Y向運動平臺（2）上，X向運動平臺（4）與X向驅動裝置連接，Y向運動平臺（2）與Y向驅動裝置連接，拋光盤（8）安裝在X向運動平臺（4）上，且拋光盤（8）與拋光盤驅動裝置連接，循環裝置包括有回收槽（15）、pH測試儀（18）、循環管（19）、電泵（20）和溫控回收桶（21），其中裝有pH測試儀（18）的回收槽（15）位于拋光盤（8）的下方，電泵（20）抽取拋光液（19）通過循環管（19）輸送至拋光盤（8）的工作面，且拋光液（17）再通過循環管（19）直接流回溫控回收桶（21）中。

2.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述夾具（12）為彈簧夾頭，晶片貼盤（10）通過彈簧夾頭安裝在電主軸（11）下端。

3.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述Z向驅動裝置包括有滾珠絲桿（13）及Z向步進電機（15），其中Z向滾珠絲桿（13）垂直固定在機架（1）上，步進電機（15）安裝在滾珠絲桿（13）的下端，電主軸（11）固定在Z向滾珠絲桿（13）上，并與機架（1）的垂直導軌匹配。

4.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述Z向驅動裝置的滾珠絲桿（13）通過聯軸器與Z向步進電機（15）的輸出軸連接。

5.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述拋光盤驅動裝置包括有同步帶輪（6）及步進電機，拋光盤（8）通過同步帶輪（6）與步進電機連接。

6.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述裝有pH測試儀（18）的回收槽（15）位于拋光盤（8）的正下方。

7.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述驅動X向運動平臺（4）及Y向運動平臺（2）運動的X向驅動裝置及Y向運動平臺（2）均包括有滾珠絲桿及步進電機，其中滾珠絲桿垂直固定在機架（1）上，步進電機安裝在滾珠絲桿的下端，X向運動平臺（4）及Y向運動平臺（2）固定在滾珠絲桿上，且X向運動平臺（4）及Y向運動平臺與機架（1）的垂直導軌匹配，且滾珠絲桿通過聯軸器與步進電機輸出軸連接。

8.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述拋光盤（8）的下方設有環形槽（23），環形槽（23）中放置有磁鐵（7），磁鐵（7）的下部設有能調節磁鐵（7）與拋光盤（8）的盤面之間的距離的調整墊片（16）。

9.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述環形槽（81）中放置有不同形狀及尺寸的磁鐵（7），墊片（16）為不銹鋼墊片。

10.根據權利要求1所述的集群磁流變-化學機械復合拋光裝置，其特征在于上述溫控回收桶（21）中設有能把拋光液（17）的溫度控制在25℃—55℃之間的溫控裝置。