[實用新型]石墨舟陶瓷桿

有效

• 申請號: 201220404147.3
• 申請日: 2012-08-15
• 公開（公告）號: CN202797045U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 吳建洪
• 申請（專利權）人: 常州市立新石墨有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23C16/458;H01L21/673
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 金輝

技術領域

本實用新型涉及一種陶瓷桿，特別涉及一種石墨舟陶瓷桿。?

背景技術

太陽能硅片的生產加工中有一道程序叫做PECVD鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉化率。這個工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，經過一定的條件產生化學反映，在硅片表面鍍上一層膜。?

石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體,其結構和大小直接影響硅片的轉換效率和生產效率，現有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨隔塊等石墨配件。其工作原理為：將未鍍膜的硅片放在石墨舟片的卡點上，每個舟片上可放固定數量的硅片，然后，將石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備的墻體內，采用PECVD工藝進行放電鍍膜。鍍膜結束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。?

石墨舟上固定有不同數量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷桿穿套起來的。石墨舟在使用一定次數后，石墨舟上各部分表面上會被鍍上一層氮化硅，此時需要采用適當濃度的氫氟酸來清洗石墨舟，再用清水清洗，現有石墨舟陶瓷桿上沒有排水的通道，使得氫氟酸不能有效排除，殘留的氫氟酸加速了陶瓷桿的腐蝕速度，陶瓷桿易斷，工業生產中需經常更換陶瓷桿。?

實用新型內容

本實用新型的目的是解決上述不足，提供一種具有導流槽，能有效排除氫氟酸的陶瓷桿。?

實現本實用新型目的技術方案是：一種石墨舟陶瓷桿，包括兩個端部的螺紋段，中間的光桿其特征在于：光桿上開設有導流槽。?

上述石墨舟陶瓷桿，所述導流槽為沿軸向水平開設。?

上所述石墨舟陶瓷桿，所述導流槽為沿軸向與水平成角度開設。?

上述石墨舟陶瓷桿，所述導流槽為沿軸向與水平成5°角開設。?

本實用新型具有積極的效果：（1）結構簡單，實用；（2）開設導流槽能有效的使氫氟酸引流出去，能有效延長陶瓷桿的使用壽命。?

附圖說明

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中?

圖1為本實用新型結構示意圖。?

其中：1螺紋段，2光桿，3導流槽。?

具體實施方式

實施例（1）?

見圖1，本實用新型具有頭尾兩個端部的螺紋段1，中間的光桿2，在光桿2上沿軸向水平開設有導流槽3。使用時，清洗完石墨舟后，殘留的氫氟酸會順著導流槽3流出，然后再用清水清洗石墨舟，清水也能快速從導流槽3中流出，再進行清洗的后續步驟。?

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。?