[實用新型]一種盤狀物夾持裝置

有效

• 申請號: 201220394803.6
• 申請日: 2012-08-09
• 公開（公告）號: CN202796898U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 高浩;張豹
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝

1.一種盤狀物夾持裝置，其特征在于，包括卡盤，所述卡盤盤面上放置盤狀物，所述卡盤盤面的周向上設有多個機械式夾持元件，所述卡盤內部設有驅動機構，所述驅動機構與多個所述夾持元件連接，用于驅動所述夾持元件進行自旋轉運動進而夾持或取放盤狀物，多個所述夾持元件所構成的有效夾持面與盤狀物的形狀相匹配。

2.如權利要求1所述的盤狀物夾持裝置，其特征在于，每個所述夾持元件分別包括夾持頭和支撐筒體，所述夾持頭固定在所述支撐筒體的上端，所述支撐筒體的下端安裝在所述卡盤盤面上，所述夾持頭和支撐筒體由所述驅動機構驅動一起進行自旋轉運動。

3.如權利要求2所述的盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持頭的一側與所述卡盤盤面之間的夾角小于90°，用于夾持盤狀物；其另一側與所述卡盤盤面之間的夾角大于或等于90°，用于取放盤狀物。

4.如權利要求3所述的盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持頭與所述卡盤盤面小于90°的夾角范圍為10°~80°。

5.如權利要求1所述的盤狀物夾持裝置，其特征在于，多個所述夾持元件由所述驅動機構驅動同時進行自旋轉運動。

6.如權利要求1所述的盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述驅動機構包括傳動單元和電機，所述電機的輸出軸通過傳動單元與多個所述夾持元件連接，用于驅動夾持元件進行自旋轉運動進而夾持或取放盤狀物。

7.如權利要求1所述的盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持元件至少為三個。

8.如權利要求7所述的盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持元件為四、五、六、七或八個。