[實用新型]一種用于氦質譜檢漏的抽空加壓裝置

有效

• 申請號: 201220379679.6
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN202793702U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 張志;劉陳陳
• 申請（專利權）人: 安徽皖儀科技股份有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

技術領域：

????本實用新型主要涉及氦質譜檢漏領域，具體是一種用于氦質譜檢漏的抽空加壓裝置。

背景技術：

在一些特殊工件需要檢測泄漏率與在一定時間內泄漏氣體總量時，目前常規的檢測方法無法滿足精度要求或功能要求，例如水檢與保壓法等檢測方法的精度滿足不了要求。目前市場上檢測泄漏率精度最高的就是氦質譜檢漏儀，但是通常氦質譜檢漏儀又不具備檢測泄漏氣體總量的功能。所以目前還沒有設備與裝置能夠同時滿足一些特殊工件的泄漏檢測要求。

實用新型內容：

本實用新型目的就是為了彌補已有技術的缺陷，提供提供一種用于氦質譜檢漏的抽空加壓裝置，實現了一些特殊工件需要檢測泄漏率與在一定時間內檢測泄漏氣體總量的檢測要求。

本實用新型是通過以下技術方案實現的：

一種用于氦質譜檢漏的抽空加壓裝置，包括有真空氣泵，真空氣泵與真空減壓閥的出氣口相連，真空減壓閥的進氣口與抽空閥的出氣口相連，抽空閥的進氣口再與充氣閥的出氣口和微調閥的進氣口相連，微調閥的出氣口與保壓閥的一端相連，保壓閥的另一端與絕壓變送器和通過密封盒的接口與工件相連，工件在密封盒內部，密封盒的另一端接口與檢漏閥的進氣口相連，檢漏閥的出氣口與吸槍口套相連，吸槍的吸槍口與吸槍口套相連，吸槍的出氣口與氦質譜檢漏儀相連。

所述真空氣泵與真空減壓閥實現對真空度的可控制調節性；通過絕壓變送器可以直接顯示裝置內部壓力；通過微調閥可以有效控制抽空與加壓速度；檢漏閥為兩位三通閥，通常情況下檢漏閥的出氣口與大氣連通；氦質譜檢漏儀增加了檢測泄漏氦氣總量的功能。

本實用新型的工作原理為：

通過真空氣泵、真空減壓閥、與抽空閥、微調閥以及保壓閥等對工件抽真空，達到一定真空度后關閉抽空閥，然后在打開充氣閥對工件充入氦氣，當充入的氦氣達到設定值后關閉保壓閥與充氣閥，這時充入工件內部的氦氣通過漏孔的泄漏與材質本身的滲漏出的氦氣儲存在密封盒內部，在一定時間后打開檢漏閥，通過吸槍將密封盒內部氣體吸入到氦質譜檢漏儀中，從而檢測出工件的泄漏率與泄漏氣體總量。

本實用新型的優點是：

本實用新型結構簡單，所用材料為常規材料，成本低，解決了一些特殊工件需要檢測泄漏率與在一定時間內檢測泄漏氣體總量的檢測要求。

附圖說明：

????圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式：

一種用于氦質譜檢漏的抽空加壓裝置，包括有真空氣泵1，真空氣泵1與真空減壓閥2的出氣口相連，真空減壓閥2的進氣口與抽空閥3的出氣口相連，抽空閥3的進氣口再與充氣閥4的出氣口和微調閥5的進氣口相連，微調閥5的出氣口與保壓閥6的一端相連，保壓閥6的另一端與絕壓變送器7和通過密封盒8的接口與工件9相連，工件9在密封盒8內部，密封盒8的另一端接口與檢漏閥10的進氣口相連，檢漏閥10的出氣口與吸槍口套11相連，吸槍12的吸槍口與吸槍口套11相連，吸槍12的出氣口與氦質譜檢漏儀13相連。