[實用新型]可轉動的尋邊器

有效

• 申請號: 201220376554.8
• 申請日: 2012-08-01
• 公開（公告）號: CN202757956U
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 廖惇材;彭柏翰
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢;王燕秋

技術領域

本實用新型與利用探針（probe）檢測諸如發光二極管等半導體晶粒性能的點測裝置（prober）所搭載的尋邊器（edge?sensor）有關，特別是指一種可轉動的尋邊器。

背景技術

點測裝置為一種利用探針檢測諸如發光二極管等半導體晶粒性能表現或特性參數的設備。點測裝置通常包含有至少一尋邊器，如圖1及圖2所示，習用的尋邊器100包含有一座體110、一懸臂120、一連接于座體110與懸臂120之間的彈性片130，以及一設置于懸臂120一端的探針140，懸臂120與座體110之間還設有一可調預力施加器150，以及二分別固設于懸臂120及座體110的導電體160、170，二導電體160、170受預力施加器150施加的預力作用而保持接觸并電性導通。

在使用尋邊器100時，其探針140與一測試機電性連接。通過一可垂直往復運動的進給機構帶動尋邊器100下降或通過一可垂直往復運動的承載臺帶動一待測物(Device?Under?Test)上升，探針140可與該待測物接觸，使測試機能夠輸出測試訊號至待測物并自該待測物接收測試結果，以檢測或驗證待測物的電路良莠或電氣特性。

一旦探針140施予待測物的針壓(probing?force)使得其反作用力克服該預力時，將造成懸臂120擺動且彈性片130彈性彎曲變形，使得二導電體160、170相互分離而斷路，同時，點測裝置一旦偵測到二導電體160、170斷路的訊號則立即停止前述進給動作。由此，尋邊器100可確保探針140能確實接觸并施加一定壓抵力量在待測物上，而且，尋邊器100還可避免探針140對待測物所施的針壓過大而造成待測物或探針140損傷。

同一點測裝置常設有多個如前所述的尋邊器，以同時點觸同一待測物的多個電性接點，或者同時點觸多個待測物，各尋邊器的位置配置需配合其要點觸的電性接點的位置，常使得其探針彼此相當靠近，如此一來，若不將尋邊器從點測裝置拆卸下來，便相當難進行探針更換作業。換言之，習用的尋邊器容易造成其鄰近的其他尋邊器的探針更換作業不易進行，因此仍有待改進。

發明內容

針對上述問題，本實用新型的主要目的在于提供一種可轉動的尋邊器，其可通過轉動而使其懸臂及探針離開點觸作業進行時的位置，以便其鄰近的其他尋邊器進行探針更換。

為達到上述目的，本實用新型所提供的一種可轉動的尋邊器，包含有一基座、一設置于所述基座的懸臂，以及一設置于所述懸臂的探針；其特征在于：所述基座包含有一固定單元，以及一能轉動地設置于所述固定單元的轉動單元，所述懸臂設置于所述轉動單元。

上述本實用新型的技術方案中，還包含有一連接所述固定單元與所述轉動單元的轉軸，所述轉動單元能自一起始位置受外力而繞所述轉軸轉動，所述懸臂在所述轉動單元位于起始位置時實質上呈水平的姿態，所述轉軸實質上呈水平且與所述懸臂垂直的姿態。

所述固定單元具有一前擋止面，當所述轉動單元位于所述起始位置時，所述固定單元的前擋止面為朝向所述探針，且所述轉動單元抵靠所述前擋止面。

所述固定單元還具有一位于所述前擋止面上方的上擋止面，所述轉動單元以一預定方向轉動時能受所述上擋止面抵擋而停定于一極限位置。

還包含有一磁吸組件，所述磁吸組件具有二能相吸的構件，所述二構件分別設置于所述固定單元及所述轉動單元，當所述懸臂隨著所述轉動單元的轉動而旋擺至實質上呈垂直的姿態時，所述磁吸組件的所述二構件相吸，使所述懸臂保持在實質上呈垂直的姿態。

所述磁吸組件設置于所述固定單元的構件為一磁鐵，所述磁吸組件設置于所述轉動單元的構件為一導磁件。

所述導磁件為鎖設于所述轉動單元的螺絲。

所述轉軸穿設于所述轉動單元，所述導磁件的尾端頂抵于所述轉軸。

還包含有另一設置于所述轉動單元的磁鐵，所述二磁鐵為相吸或相斥，以提供一作用于所述轉軸的力量。

所述固定單元包含有一連接件，所述連接件具有一頂壁、一右側壁及一左側壁，所述左、右側壁分別裝設有一軸承，所述轉軸穿設于所述二軸承中；所述轉動單元包含有一轉動件，所述轉動件位于所述連接件的左、右側壁之間并與所述轉軸固接，且所述轉動件具有一與所述連接件的頂壁對應的頂部，以及一與所述懸臂連接的底部；所述磁吸組件的磁鐵及導磁件分別設于所述連接件的頂壁及所述轉動件的一前側面。

所述尋邊器還包含有另一設置于所述轉動件頂部的磁鐵，所述二磁鐵為相吸或相斥，以提供一作用于所述轉軸的力量。