[實用新型]一種涂布設備

有效

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• 申請日: 2012-07-27
• 公開（公告）號: CN202683415U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設計）人: 劉昊;焦宇;姜健;宋瑞濤
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B05C11/00
• 分類號: B05C11/00;B05C11/10
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本實用新型涉及液晶面板及半導體生產技術領域，特別涉及一種涂布設備。

背景技術

目前，在液晶面板以及半導體生產中，傳統(tǒng)工藝為在基板上均勻涂布感光材料，利用掩膜版（mask）進行紫外線曝光并隨后進行顯像等處理，最終得到相應掩膜版的圖案。

以陣列（Array）基板為例，感光材料的涂布是陣列基板制造工藝過程中十分重要的一道工序。

通用的技術中使用的感光材料涂布方式有兩種。一種涂布方式為：預先使用涂布設備將感光材料涂布于基板之上，之后將涂布有感光材料的基板放在離心設備上進行高速旋轉，從而將基板上的感光材料通過旋轉的離心力甩勻，之后利用負壓進行低壓干燥，將邊緣感光材料去除，進入固化設備對基板上均勻的感光材料進行加熱固化，之后進行曝光，化學品顯像，最終得到相應掩膜版的圖案。

另一種涂布方式為直接涂布方式，即使用涂布設備一次性將感光材料均勻的涂布于基板之上。

上述感光材料的兩種涂布方式均是利用涂布設備涂布感光材料；涂布設備包括機架、噴嘴以及用于放置待涂布基板的涂布平臺；涂布平臺與機架固定連接，噴嘴可滑動地安裝于機架，涂布平臺水平放置，噴嘴位于涂布平臺的上方；在具體涂布過程中，先將待涂布的基板平整的放在涂布平臺上，利用涂布設備的噴嘴將感光材料均勻的涂布于基板上。噴嘴在噴涂感光材料時，噴嘴與基板的上表面之間的間隙非常小，一般情況下為0.1-0.3mm。

在現(xiàn)有的技術中，使用噴嘴進行感光材料涂布時，經常會出現(xiàn)基板與涂布平臺之間有異物，或基板的上表面上有異物，導致噴嘴在涂布感光材料時，噴嘴與基板的上表面或者基板上表面的異物發(fā)生碰撞，由于噴嘴噴涂感光材料的非常小，噴嘴與基板的上表面或者基板上表面的異物發(fā)生碰撞后會導致噴嘴發(fā)生變形，從而導致噴嘴受損或直接損壞，同時，噴嘴受損或者損壞后還會造成基板涂布工藝不良現(xiàn)象。

噴嘴的維修費用很高，因此噴嘴的損壞會給廠家造成很大的經濟損失；同時，基板的涂布工藝不良會直接影響基板產品的質量，甚至造成基板產品的報廢，進一步給廠家造成經濟損失。

因此，如何提供一種能夠防止噴嘴與異物發(fā)生碰撞的涂布設備，以防止噴嘴在涂布時受到損傷，降低基板的涂布工藝不良，是本領域技術人員需要解決的技術問題之一。

實用新型內容

本實用新型提供一種具有噴嘴前端防護裝置的涂布設備，能夠防止噴嘴與異物發(fā)生碰撞，防止噴嘴在涂布時受到損傷，降低基板因噴嘴損傷造成的涂布工藝不良。

為達到上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

一種涂布設備，包括噴嘴和用于放置待涂布基板的涂布平臺；還包括：

感應模塊，用于采集所述涂布平臺或基板上、位于所述噴嘴前方異物的信息；

信號處理模塊，信號連接所述感應模塊，根據所述感應模塊采集的信息判斷存在異物時生成執(zhí)行信號；

執(zhí)行模塊，信號連接所述信號處理模塊，根據所述信號處理模塊的執(zhí)行信號控制所述噴嘴停止涂布作業(yè)。

優(yōu)選地，所述執(zhí)行模塊為：噴嘴控制裝置，所述噴嘴控制裝置與所述信號處理模塊信號連接；和/或

報警裝置，所述報警裝置與所述信號處理模塊信號連接。

優(yōu)選地，所述感應模塊包括：

感應所述噴嘴行走方向前方光線的光感應器，設置于所述噴嘴上；

第一支架，第一端設置于所述噴嘴上，第二端沿所述噴嘴的行走方向向前伸出且低于所述光感應器的安裝高度；

擋板，位于所述光感應器前方，所述擋板的底端面不高于所述噴嘴的底端面，所述擋板的上端面位于所述光感應器的下端面和上端面之間，所述擋板與所述第一支架的第二端鉸接并可繞其鉸接軸線旋轉，所述鉸接軸線的延伸方向與噴嘴的行走方向垂直并且與涂布平臺所在的平面平行。

優(yōu)選地，所述感應模塊還包括光源，所述光源設置于所述涂布平臺上；所述擋板位于所述光源與所述光感應器之間。

優(yōu)選地，所述噴嘴的上端面可拆卸地固定安裝有第一固定塊，所述光感應器和所述第一支架設置于所述第一固定塊上。

優(yōu)選地，所述感應模塊包括：

至少一個信號收發(fā)器，安裝于所述噴嘴前端面，用于向所述噴嘴行走方向前方的涂布平臺以及基板發(fā)射感應信號并接受涂布平臺以及基板的反饋信號。

優(yōu)選地，所述感應模塊還包括：

第二支架，第一端設置于所述噴嘴上，第二端沿所述噴嘴的行走方向向前伸出；