[實(shí)用新型]單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)及包括該結(jié)構(gòu)的單晶爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220317471.1
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN202626349U
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 白劍銘;孫二凱
• 申請（專利權(quán)）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B35/00;G01K1/14
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;余剛

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶硅制備裝置，具體而言，涉及一種單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)及包括該結(jié)構(gòu)的單晶爐。

背景技術(shù)

單晶爐是在惰性氣體環(huán)境中，采用加熱器，將硅材料熔化，并采用直拉法生長無位錯(cuò)單晶的設(shè)備。高溫計(jì)一般指測量溫度高于500℃所使用的溫度計(jì)。在單晶爐運(yùn)行時(shí)，需要利用高溫計(jì)對單晶爐熱場的溫度信號進(jìn)行采集，并通過與高溫計(jì)連接的光纖數(shù)據(jù)傳輸線，將采集到的溫度信號反饋到可編程邏輯控制器中，以實(shí)現(xiàn)單晶爐熱場溫度的自動(dòng)化控制。而高溫計(jì)與單晶爐的連接是通過支架實(shí)現(xiàn)的。

傳統(tǒng)的支架，一般是固定設(shè)置在單晶爐的爐壁上的中空套管，中空套管內(nèi)設(shè)置有內(nèi)螺紋，與中空套管的螺紋通孔對應(yīng)地，在單晶爐的爐壁上設(shè)置有高溫信號采集孔，該采集孔處設(shè)置有用于密封的石英鏡片，高溫計(jì)外表面設(shè)置有外螺紋，使用時(shí)將高溫計(jì)旋擰嵌設(shè)到套管中，隔著石英鏡片采集熱場信號。由于單晶爐每運(yùn)行5次就需要進(jìn)行整體清潔，所以高溫計(jì)要反復(fù)從單晶爐上安裝或拆卸下來，而高溫計(jì)在旋擰過程中，由于沒有限位，很容易旋擰過度，對石英鏡片造成擠壓，甚至導(dǎo)致石英鏡片上產(chǎn)生隱形裂痕。這樣在單晶爐運(yùn)行時(shí)，會(huì)造成石英鏡片上的裂痕擴(kuò)張，由此產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象，會(huì)導(dǎo)致單晶爐內(nèi)石墨件的表層氧化成蜂窩狀，影響其使用壽命，而硅料也將報(bào)廢。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在提供一種單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)及包括該結(jié)構(gòu)的單晶爐，可以限制高溫計(jì)嵌入套管內(nèi)的深度，避免高溫計(jì)對石英鏡片造成損壞。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供了一種單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)，包括套管以及可拆卸地嵌設(shè)在套管內(nèi)的高溫計(jì)，高溫計(jì)上設(shè)置有限制高溫計(jì)在套管內(nèi)的嵌入深度的第一限位部。

進(jìn)一步地，高溫計(jì)上固定套設(shè)有套筒，套筒靠近高溫計(jì)的信號采集頭的端面形成第一限位部。

進(jìn)一步地，套管上設(shè)置有與第一限位部相配合的第二限位部。

進(jìn)一步地，套管內(nèi)設(shè)置有通孔，通孔包括第一直孔段和第二直孔段，第一直孔段的內(nèi)周壁與高溫計(jì)的信號采集頭的外周壁相適應(yīng)，第二直孔段的內(nèi)周壁與套筒的外周壁相適應(yīng)，第一直孔段與第二直孔段的連接端面形成第二限位部。

進(jìn)一步地，高溫計(jì)的外表面設(shè)置有外螺紋段，套筒的內(nèi)表面設(shè)置有與外螺紋段相配合的內(nèi)螺紋段，高溫計(jì)與套筒可拆卸地連接。

進(jìn)一步地，單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)還包括沿套管的徑向方向設(shè)置在套管上以限制套管與高溫計(jì)之間的軸向運(yùn)動(dòng)的軸向定位部。

進(jìn)一步地，軸向定位部包括鎖緊螺栓，鎖緊螺栓沿套管的徑向方向可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置，鎖緊螺栓的外周壁設(shè)置有外螺紋；套管的周壁上設(shè)置有鎖緊孔，鎖緊孔的內(nèi)周壁設(shè)置有與鎖緊螺栓的外螺紋相配合的內(nèi)螺紋。

進(jìn)一步地，鎖緊孔設(shè)置在套管遠(yuǎn)離單晶爐的一端。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一方面，提供了一種單晶爐，包括固定設(shè)置在爐壁上的單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)，單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)為前述的單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)。

應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，通過在高溫計(jì)上設(shè)置第一限位部，使高溫計(jì)在嵌入套管內(nèi)時(shí)，其嵌入深度受到第一限位部的限制，高溫計(jì)的信號采集頭不會(huì)擠壓到石英鏡片，從而保護(hù)了石英鏡片不受損壞，確保了單晶爐運(yùn)行的穩(wěn)定與產(chǎn)品的質(zhì)量。

附圖說明

構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1示出了根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)的光纖數(shù)據(jù)傳輸線、高溫計(jì)以及套筒相配合的主視圖；

圖2示出了根據(jù)圖1的光纖數(shù)據(jù)傳輸線、高溫計(jì)以及套筒相配合的俯視圖；

圖3示出了根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)的套管的主視圖；以及

圖4示出了根據(jù)圖3的套管的A-A向剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

如圖1至4所示，根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，提供了一種單晶爐高溫計(jì)安裝結(jié)構(gòu)，包括套管10、高溫計(jì)20和套筒30。其中套管10固定設(shè)置在單晶爐的爐壁上，且套管10內(nèi)部的通孔與單晶爐的爐壁上的高溫信號采集孔相對應(yīng)，高溫計(jì)20可拆卸地嵌設(shè)在套管10的通孔內(nèi)，套筒30固定套設(shè)在高溫計(jì)20上。