[實用新型]變間距電鍍槽套件

有效

• 申請號: 201220306380.8
• 申請日: 2012-06-28
• 公開（公告）號: CN202688491U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 孫云飛;王懋;吳東岷
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種變間距電鍍槽套件，尤其涉及一種可調節靶材架與樣品架之間距離的電鍍槽。

背景技術

目前的電鍍槽在半導體行業中廣泛被工程師應用，但是沒有可以準確知道靶材和樣品之間距離的電鍍槽，導致不能對樣品的電鍍獲取更準確的信息，無法獲取更精確的電鍍結果。

實用新型內容

針對現有技術存在的問題，本實用新型提供一種變間距電鍍槽套件，該電鍍槽套件可調節靶材架與樣品架之間距離，更精確的對樣品進行電鍍。

為了達到上述的發明目的，本實用新型采用了如下的技術方案：

一種變間距電鍍槽套件，包括電鍍槽箱體、靶材架和樣品架，其特征在于：所述的電鍍槽箱體上設置有調節靶材架與樣品架之間距離的位置標記；所述的位置標記為刻度、凹槽或凸臺。

進一步地，所述靶材架設置有與電鍍槽箱體位置標記固定配合的第一夾持裝置；具體的，所述第一夾持裝置為偏心夾持裝置、螺旋夾持裝置和卡槽夾持裝置中任意一種。

進一步地，所述樣品架設置有與電鍍槽箱體位置標記固定配合的第二夾持裝置；具體的，所述第二夾持裝置為偏心夾持裝置、螺旋夾持裝置和卡槽夾持裝置中的任意一種。

當在對樣品進行電鍍時，通過改變靶材架和樣品架與電鍍槽箱體上的位置標記之間的夾持位置，實現讀取靶材架和樣品架之間的距離并進行調節。?

本實用新型的優點在于：

1、該變間距電鍍槽套件通過靶材架和樣品架的夾持裝置與電鍍槽箱體位置標記固定配合，調節靶材架與樣品架之間距離，更精確的對樣品進行電鍍；

2、該變間距電鍍槽套件結構簡單，通用性強，操作簡便。

附圖說明

圖1為本實用新型的電鍍槽箱體的結構正視圖；

圖2為本實用新型的電鍍槽箱體的結構俯視圖；

圖3為本實用新型的靶材架的結構正視圖；

圖4為本實用新型的樣品架的結構正視圖；

圖中各附圖標記的含義為：1、電鍍槽箱體，2、位置標記，3、靶材架，4、第一夾持裝置，5、樣品架，6、第二夾持裝置。?

具體實施方式

以下結合一較佳實施例及附圖對本實用新型的技術方案作進一步的說明。

如圖1、圖2、圖3和圖4所示，一種變間距電鍍槽套件，該變間距電鍍槽套件包括電鍍槽箱體1、靶材架3和樣品架5，所述的電鍍槽箱體1上設置有調節靶材架3與樣品架5之間距離的位置標記2；所述的位置標記2為刻度、凹槽或凸臺。

進一步地，所述靶材架3設置有與電鍍槽箱體位置標記2固定配合的第一夾持裝置4；具體的，所述第一夾持裝置4為偏心夾持裝置、螺旋夾持裝置和卡槽夾持裝置中任意一種。

進一步地，所述樣品架5設置有與電鍍槽箱體位置標記2固定配合的第二夾持裝置6；具體的，所述第二夾持裝置6為偏心夾持裝置、螺旋夾持裝置和卡槽夾持裝置中的任意一種。

當在對樣品進行電鍍時，通過改變靶材架和樣品架與電鍍槽箱體上的位置標記之間的夾持位置，實現讀取靶材架和樣品架之間的距離并進行調節，可以更準確的獲取電鍍信息。例如，?在相同的電鍍距離以及不同的電鍍液的情況下，測試電鍍相同厚度所需的時間；在相同的電鍍液以及不同的電鍍距離的情況下，測試電鍍相同厚度所需的時間；在相同的電鍍距離以及相同的電鍍液的情況下，測試電鍍不同厚度所需的時間；為相關的科研工作以及生產作業提供數據分析。

以上述依據本實用新型的理想實施為啟示，通過上述的說明內容，本領域的普通技術人員完全可以在不偏離本項發明技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改，而這些改變和變形都應屬于本實用新型權利要求的保護范圍。