[實用新型]晶圓清洗刷及晶圓清洗裝置有效
| 申請號： | 201220293460.4 | 申請日： | 2012-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN202621481U | 公開（公告）日： | 2012-12-26 |
| 發明（設計）人： | 董文杰;王懷鋒;余文軍;黃孝鵬 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B08B1/04 | 分類號： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓清 洗刷 清洗 裝置 | ||
1.一種晶圓清洗刷，包括外表面帶有刷毛的刷筒和刷筒軸，所述刷筒套設于所述刷筒軸的外側，其特征在于，所述刷筒軸的中心部位的直徑小于所述刷筒軸的兩端的直徑。
2.根據權利要求1所述的晶圓清洗刷，其特征在于，所述刷筒軸的直徑由中心部位向兩端逐漸變大。
3.根據權利要求1所述的晶圓清洗刷，其特征在于，所述刷筒軸包括中間軸，所述中間軸的兩端分別設有至少一根圓軸，所述中間軸的直徑小于所述圓軸的直徑。
4.根據權利要求3所述的晶圓清洗刷，其特征在于，所述中間軸的兩端分別設有至少兩根圓軸，所述至少兩根圓軸中越靠近中間軸的圓軸的直徑越小。
5.根據權利要求4所述的晶圓清洗刷，其特征在于，所述中間軸的兩端分別設有兩根圓軸。
6.根據權利要求5所述的晶圓清洗刷，其特征在于，所述中間軸的直徑是12毫米，其中，靠近中間軸的圓軸的直徑是16毫米，遠離中間軸的圓軸的直徑是18毫米。
7.根據權利要求4所述的晶圓清洗刷，其特征在于，所述中間軸與圓軸之間以及相鄰的圓軸之間可拆卸式連接。
8.根據權利要求1所述的晶圓清洗刷，其特征在于，所述刷筒軸一體成型。
9.根據權利要求1所述的晶圓清洗裝置，包括一對晶圓清洗刷，所述晶圓清洗刷分別壓在所述晶圓的正反表面并對晶圓進行滾動刷洗，其特征在于，
所述晶圓清洗刷采用如權利要求1~8中任意一項所述的晶圓清洗刷。
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