[實用新型]一種石墨組合式軌道防著板

有效

• 申請號: 201220284119.2
• 申請日: 2012-06-13
• 公開（公告）號: CN202663364U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 李寶太
• 申請（專利權）人: 臺晶（寧波）電子有限公司
• 主分類號: H03H3/04
• 分類號: H03H3/04
• 代理公司: 上海泰能知識產權代理事務所 31233
• 代理人: 宋纓;孫健

技術領域

本實用新型涉及石英晶體制造業技術領域，特別是涉及一種石墨組合式軌道防著板，主要用于石英晶體制造業的氬離子刻蝕式晶振自動頻率調整設備的耗材維護，擴大石墨材質的工業用途。

背景技術

現有技術中，通常采用單一式不銹鋼軌道防著板作為氬離子蝕刻式晶振自動微調機的軌道防護，如圖1所示，該不銹鋼軌道防著板的底板1中間設有兩個通孔4，兩側各設有一個圓孔2，兩個圓孔2的外側均設有一個防護板3，這種結構在進行石英晶體制造時只能使用兩周的壽命局限，耐用性較差。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種石墨組合式軌道防著板，能夠延長自身的使用壽命。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：提供一種石墨組合式軌道防著板，包括不銹鋼制成的底板，所述底板兩側各設有一個圓孔，所述兩個圓孔外側均設有一防護板，所述底板中間設有安裝槽；所述安裝槽的中間設有兩個通孔，所述安裝槽內放置有中間開有兩個通孔的石墨片，所述石墨片上通孔的位置與安裝槽中通孔的位置相互對應。

所述安裝槽中間的兩個通孔為圓孔或方孔。

所述石墨片上的通孔與安裝槽上的通孔大小一致。

有益效果

由于采用了上述的技術方案，本實用新型與現有技術相比，具有以下的優點和積極效果：本實用新型利用石墨材質的低濺射率特點和不銹鋼容易加工的特點，設計出組合式軌道防著板來滿足晶振頻率自動調整設備上對軌道防著板需要耐氬離子轟擊的要求，此技術的關鍵是利用了不銹鋼和石墨材質各自的優點，達到持久耐用，更換方便，成本便宜的目的。

附圖說明

圖1是現有技術中單一式不銹鋼軌道防著板結構示意圖；

圖2是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內容之后，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。

本實用新型的實施方式涉及一種石墨組合式軌道防著板，如圖1所示，包括不銹鋼制成的底板1，所述底板1兩側各設有一個圓孔2，所述兩個圓孔2外側均設有一防護板3，所述底板1中間設有安裝槽；所述安裝槽的中間設有兩個通孔4，所述安裝槽內放置有中間開有兩個通孔的石墨片5，所述石墨片5上的通孔的位置與安裝槽中的通孔4的位置相互對應。為了使防著板的使用壽命更長，所述安裝槽中間的兩個通孔4可以是圓孔，也可以是方孔，石墨片5上的通孔與安裝槽上的通孔大小一致。

不難發現，本實用新型利用石墨材質的低濺射率特點和不銹鋼容易加工的特點，設計出組合式軌道防著板來滿足晶振頻率自動調整設備上對軌道防著板需要耐氬離子轟擊的要求，此技術的關鍵是利用了不銹鋼和石墨材質各自的優點，達到持久耐用，更換方便，成本便宜的目的。