[實用新型]微機電系統可調式光衰減器

有效

• 申請號: 201220276937.8
• 申請日: 2012-06-12
• 公開（公告）號: CN202735593U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 鐘祖平;張前進;王海燕
• 申請（專利權）人: 上海中科股份有限公司;上海中科光纖通訊器件有限公司;上海中科創欣通訊設備有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B6/26
• 代理公司: 上海天翔知識產權代理有限公司 31224
• 代理人: 呂伴

技術領域

本實用新型涉及一種可調式光衰減器，尤其是一種反射式微機電系統可調式光衰減器。

背景技術

（MEMS）微機電系統可調式光衰減器（VOA）可以按照使用者的需要通過外加電壓來調節光強度的衰減，微機電系統可調式光衰減器（MEMS?VOA）能廣泛應用于控制和調節光通訊系統中光強度的場合中?；谖C電系統技術的可調式光衰減器是可調式光衰減器的主要解決方案之一，具有體積小、功耗低的優勢。反射式微機電系統可調式光衰減器通過靜電或者電磁力驅動一個扭轉微機電系統反射鏡芯片，使入射光束偏轉以減少耦合進輸出光纖的光功率來實現衰減。微機電系統可調式光衰減器通常以一個雙光纖準直器與微機電系統芯片進行耦合，實現緊湊的封裝結構。

微機電系統可調式光衰減器芯片必須要在適當的凈化環境中進行密封，以保證微機電系統可調式光衰減器芯片的反射鏡不被灰塵顆粒與水汽污染，微電機械轉軸不被灰塵顆粒與水汽腐蝕卡住而影響轉動。在現有產品中有以下方式實現微機電系統可調式光衰減器的氣密封裝。

如圖1所示為一種現有微機電系統可調式光衰減器，先把微機電系統可調式光衰減器芯片2固定在底座1的凸臺12上，將芯片2上的正負接線端與底座1上相應的管腳連接。管帽組件5包括標準金屬管帽51和鍍膜玻璃52，用膠53固定；將管帽組件5的圓環面54與底座1的圓環面11采用金屬熔焊的方法焊接，這樣組成了一個密閉的組件來保護微機電系統可調式光衰減器芯片2。雙光纖準直器4的一根光纖通入光后，光線經雙纖準直器4準直后，經過管帽組件5上的鍍膜玻璃52到達微機電系統可調式光衰減器芯片2上的鍍金反射鏡21，而反射回的光再經過管帽組件5上的鍍膜玻璃52到達雙纖準直器4的另一根光纖。管帽組件5和底座1做成的密閉組件，與雙光纖準直器4再固定在外部的另一個封裝管內（圖中未示出）。這種實施方案，在光的通路中間有玻璃片的影響，微機電系統可調式光衰減器的插損、偏振相關損耗等性能會變差。

如圖2所示為另一種現有的微機電系統可調式光衰減器。這種微機電系統可調式光衰減器，先把微機電系統可調式光衰減器芯片2固定在底座1的凸臺12上，將芯片2上的正負接線端與底座1上相應的管腳連接。管帽組件6包括金屬管帽61和C-Lens?62，用膠63固定；再把管帽6圓環面64與底座1的圓環面11采用金屬熔焊的方法焊接，這樣組成了一個密閉的組件來保護微機電系統可調式光衰減器芯片2。雙光尾纖(Pigtail)組件7包括具有平行排列且相距很小間距的雙光纖毛細管與一對光纖組成的雙纖尾纖71，玻璃管72，以及外封金屬套管73，調節雙纖Pigtail組件7與C-Lens?62斜面間的距離，并使兩者的斜面平行。這樣雙纖Pigtail組件7的一根光纖通入光后經C-Lens?62準直后出來的光到達微機電系統可調式光衰減器芯片2上的鍍金反射鏡21，反射回的光經過C-Lens?62到達雙纖Pigtail組件7的另一根光纖。管帽組件6和底座1做成的密閉組件，與雙纖Pigtail組件7再固定在外部的另一個封裝管內（圖中未示出）。這種技術方案中，C-Lens?62安裝固定在金屬管帽61時，因金屬管帽61與C-Lens?62外徑的公差，會產生一定的偏轉，而使得雙纖Pigtail組件7與C-Lens?62調整耦合時很困難，生產效率較低。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種微機電系統可調式光衰減器，使得該微機電系統可調式光衰減器性能更好、成本更低、工藝更簡便。

為解決上述技術問題，本實用新型微機電系統可調式光衰減器的技術方案是，包括底座、微機電系統可調式光衰減器芯片和雙纖準直器，所述微機電系統可調式光衰減器芯片設置在所述底座上，還包括呈管狀封裝管，所述封裝管分為芯片部和雙纖準直器部兩部分，所述芯片部與所述雙纖準直器部由一個間隔部隔開，所述間隔部上設置有一個通孔，所述底座與封裝管的芯片部一端密封連接，使得所述微機電系統可調式光衰減器芯片被容納在所述芯片部中，所述雙纖準直器由所述雙纖準直器部的一端插入所述封裝管，使得所述雙纖準直器前段被容納在所述雙纖準直器部中，所述雙纖準直器通過所述間隔部的通孔對準所述微機電系統可調式光衰減器芯片，所述封裝管的雙纖準直器部一端與所述雙纖準直器的外部密封連接，所述封裝管內部與外界密封隔離。