[實用新型]晶圓盒包裝輔助裝置

有效

• 申請號: 201220262681.5
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN202601593U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 張學良;高海林
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種晶圓盒包裝輔助裝置，用于固定晶圓盒中的底座，所述底座是兩端具有開口的空心圓筒，且所述空心圓筒的下部內側設有加強肋，其特征在于，所述晶圓盒包裝輔助裝置包括一圓柱體，所述圓柱體的直徑小于或等于所述底座的內徑，所述圓柱體的上部開設有與所述加強肋相匹配的凹槽，所述圓柱體固定安裝于一固定平臺或者地面。

2.根據權利要求1所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，所述空心圓筒的下部內側設有兩根相互垂直的加強肋，所述圓柱體的上部開設有兩道相互垂直的凹槽。

3.根據權利要求1所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，還包括一固定板，所述固定板固定設置于所述圓柱體的底部，所述圓柱體通過所述固定板固定安裝于所述固定平臺或者地面。

4.根據權利要求3所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，所述固定板通過螺栓組件固定安裝于所述固定平臺或者地面。

5.根據權利要求3所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，所述固定板采用金屬或塑料。

6.根據權利要求3所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，所述圓柱體和所述固定板一體成型。

7.根據權利要求1所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，所述凹槽的深度是5-20毫米。

8.根據權利要求7所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，所述凹槽的深度是12-17毫米。

9.根據權利要求8所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，所述凹槽的深度是15毫米。

10.根據權利要求1~9中任意一項所述的晶圓盒包裝輔助裝置，其特征在于，所述圓柱體采用金屬或塑料。