[實用新型]具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機

有效

• 申請號: 201220255581.X
• 申請日: 2012-06-01
• 公開（公告）號: CN202610313U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 曾國勛;楊正旭;江郁洲;許富銘
• 申請（專利權）人: 富優技研股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于其至少包括一真空腔體及至少一磁控濺鍍槍，該磁控濺鍍槍設置于該真空腔體的至少一側，其特征為：該真空腔體為一拱形真空腔體且其具有一拱形門體，又該磁控濺鍍槍的電源輸入端是電性連接一高功率脈沖電源供應器，且該高功率脈沖電源供應器的操作電壓是介于100伏特至2000伏特之間。

2.根據權利要求1所述的具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于其進一步包括一臺車及一載具，其中該載具是借由一轉軸可旋轉的結合于該臺車上。

3.根據權利要求2所述的具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于該載具于該轉軸的兩端結合有一組轉盤，且該組轉盤的外緣包括有彼此相對應的多個溝槽。

4.根據權利要求3所述的具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于該載具進一步包括有多根掛桿，所述掛桿卡設于彼此相對應的所述溝槽內。

5.根據權利要求3所述的具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于其進一步包括一驅動裝置，其設置于該真空腔體上，且該驅動裝置結合于該組轉盤的外緣以驅動該組轉盤旋轉。

6.根據權利要求4所述的具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于其中至少一該掛桿進一步結合有至少一載盤。

7.根據權利要求4所述的具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于該載具于該組轉盤的外側結合有一組齒輪盤，且所述掛桿的兩端分別具有一齒輪以與該組齒輪盤相結合，又磁控濺鍍機進一步包括一驅動裝置，設置于該真空腔體上，且該驅動裝置結合于該組轉盤的外緣以驅動該組轉盤旋轉，并借由該組轉盤的旋轉以帶動所述齒輪與該組齒輪盤作用而轉動，進而帶動所述掛桿進行自轉。

8.根據權利要求1所述的具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于其包括至少二該磁控濺鍍槍，且所述磁控濺鍍槍分別設置于該真空腔體的兩側，以對一被鍍對象進行雙面鍍膜。

9.根據權利要求1所述的具高功率脈沖電源供應器的磁控濺鍍機,其特征在于該高功率脈沖電源供應器的操作電壓是大于或等于700伏特。