[實用新型]太陽能8寸單晶硅棒生長速度調節裝置

有效

• 申請號: 201220204549.9
• 申請日: 2012-05-09
• 公開（公告）號: CN202595335U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 唐旭輝;高彬彬
• 申請（專利權）人: 江蘇聚能硅業有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及單晶硅制備設備技術領域，尤其是涉及一種太陽能8寸單晶硅棒生長速度調節裝置。

背景技術

太陽能8寸單晶硅棒生長多在熱場坩堝內進行。其中，單晶硅生長速度的即時控制極為重要。為此，熱場坩堝的口部多通有氬氣，該氬氣能夠促使晶液表面的潔凈，并冷卻其溫度，從而形成適當的溫度梯度，進而較好的調節單晶硅棒的生長速度。但是，氬氣流的走向較為分散，使其對單晶硅棒拉晶的調節能力無法充分體現。因此有必要予以改進。

實用新型內容

針對上述現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種太陽能8寸單晶硅棒生長速度調節裝置，它具有能夠調節氬氣流的走向，從而能夠較好的調節熱場坩堝中的單晶硅棒的拉晶質量的特點。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：太陽能8寸單晶硅棒生長速度調節裝置，安裝于熱場坩堝上，所述熱場坩堝的開口上部設有熱屏。

所述熱屏為碳碳復合材料熱屏。

所述熱場坩堝的外部包設有碳氈。

采用上述結構后，本實用新型和現有技術相比所具有的優點是：1、能夠調節氬氣流的走向，從而能夠較好的調節熱場坩堝中的單晶硅棒的拉晶質量。本實用新型的太陽能8寸單晶硅棒生長速度調節裝置通過在熱場坩堝的口部設置熱屏，使氬氣流能夠沿熱屏的表面進行流動，從而氬氣和晶液表面進行了充分接觸，較好的調節了拉晶質量。優化后，熱屏采用碳碳材料熱屏(CFC)。碳碳材料具有高比強度、高比模量、耐高溫、耐燒蝕、膨脹系數小、耐急冷急熱而不變形不開裂等優良性能，增加了熱屏的使用爐次。同時使用碳碳材料熱屏增加熱輻射，降低了向晶棒散熱，可以增加徑向溫度梯度，從而提高拉速。2、成品晶棒結構均勻，雜質較少。繼續優化后，熱場坩堝的外部設有碳氈，使坩堝的保溫性更好，有利于降低晶體內的熱應力和獲得均勻的溶質分凝。同時可以將硅熔體表面蒸發出的SiO更快帶走，減少了SiO在坩堝內壁面和熱屏外壁面的沉積。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明：

圖1是本實用新型的實施例的主視剖視結構示意圖。

圖中：10、熱場坩堝；20、熱屏；30、碳氈。

具體實施方式

以下所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不因此而限定本實用新型的保護范圍。

實施例，見圖1所示：太陽能8寸單晶硅棒生長速度調節裝置，安裝于熱場坩堝10上。具體的，熱場坩堝10的開口上部設有熱屏20。所謂熱屏20，指的是熱場坩堝10的開口部形成有屏障物，該屏障物能夠阻止氬氣迅速散開，并對氬氣流的路線進行引導。熱屏20可以采取石墨材料制備。但是石墨材料熱屏雖然材料易得，但是具有如下缺陷：1、急冷急熱而容易變形開裂，可能會導致拉晶過程中悶爐；2、石墨材料耐高溫系數低使用壽命短，造價高；3、石墨材料熱屏導熱系數大，拉晶過程中徑向溫度梯度小，導致提拉速困難。故而，優化的，熱屏20采取碳碳復合材料熱屏。由于碳碳材料具有高比強度、高比模量、耐高溫、耐燒蝕、膨脹系數小、耐急冷急熱而不變形不開裂等優良性能，故而能夠極大程度的發揮熱屏20的作用。進一步，熱場坩堝10的外部包設有碳氈30，碳氈30可以采取西格里碳氈。