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[實用新型]硅棒清洗裝置有效

專利信息
申請號: 201220201733.8 申請日: 2012-05-07
公開(公告)號: CN202610398U 公開(公告)日: 2012-12-19
發明(設計)人: 肖貴云;王傳凱;劉富林;岳維維 申請(專利權)人: 常州順風光電材料有限公司
主分類號: C30B33/10 分類號: C30B33/10
代理公司: 常州市維益專利事務所 32211 代理人: 路接洲
地址: 213164 江蘇省常州*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 清洗 裝置
【權利要求書】:

1.一種硅棒清洗裝置,包括清洗槽體,其特征在于:所述的槽體的底部內壁上設置有硅棒支撐裝置,所述的支撐裝置包括導軌以及設置在導軌上兩個滑塊,所述的兩個滑塊之間的距離小于等于硅棒的長度。

2.如權利要求1所述的硅棒清洗裝置,其特征在于:所述的滑塊為三棱柱滑塊,滑塊的截面為直角、銳角或鈍角三角形;所述的滑塊與槽體接觸的表面為平面,滑塊的其余兩個面為平面或弧面。

3.如權利要求1所述的硅棒清洗裝置,其特征在于:所述的滑塊在導軌上水平移動,通過螺絲固定在導軌上。

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