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[實用新型]用于單晶硅籽晶多線切割機的切割頭結(jié)構(gòu)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201220182592.X 申請日: 2012-04-26
公開(公告)號: CN202572669U 公開(公告)日: 2012-12-05
發(fā)明(設(shè)計)人: 劉麗娟;楊真永;侯賀;唐學(xué)千 申請(專利權(quán))人: 大連連城數(shù)控機器股份有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04
代理公司: 大連非凡專利事務(wù)所 21220 代理人: 曲寶威
地址: 116000 遼寧省*** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 單晶硅 籽晶 切割機 切割 結(jié)構(gòu)
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種切割頭結(jié)構(gòu),特別是一種用于單晶硅籽晶多線切割機的切割頭結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

單晶硅籽晶多線切割機是利用鋼線高速運動,并噴淋碳化硅砂漿,由碳化硅砂漿中的碳化硅微粒對硅材料進行研磨切割。切割動作是由切割機立柱上的切割頭完成的,現(xiàn)有的切割頭的結(jié)構(gòu)如下:包括切割頭架,在切割頭架上排列有多個導(dǎo)向輪、過輪和與過輪相對應(yīng)的切割輪,鋼線在各導(dǎo)向輪、過輪和切割輪上纏繞,形成一定間距且縱、橫不同方向的鋼線網(wǎng),切割頭架在立柱上向下運動時,對下方工作臺上的被切單晶硅鑄錠進行切割,使鑄錠形成多個長方體形狀。由于各過輪和切割輪安裝時相互之間有一定間距,纏繞后的鋼線間距較大,只能切割出塊狀的單晶硅體,無法切割出薄片狀的單晶硅。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種整體結(jié)構(gòu)簡單、鋼線纏繞后相互平行的鋼線間距小、適合于切割薄片狀單晶硅的用于單晶硅籽晶多線切割機的切割頭結(jié)構(gòu),克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

本實用新型的用于單晶硅籽晶多線切割機的切割頭結(jié)構(gòu),包括切割頭架,在切割頭架上安裝有纏繞鋼線的多個過輪、切割輪、與切割輪相接的驅(qū)動機構(gòu)及用于鋼線導(dǎo)向的導(dǎo)向輪;所述的各個過輪在切割頭架上方前側(cè)和后側(cè)對稱排列,所述的各個切割輪在切割頭架下方前側(cè)和后側(cè)對稱排列,每對前側(cè)和后側(cè)的過輪下方對應(yīng)一對切割輪,從而形成一組鋼線纏繞結(jié)構(gòu);所述的導(dǎo)向輪設(shè)在每組過輪側(cè)面的進入鋼線位置和拉出鋼線的位置;位于前側(cè)和后側(cè)排列的兩排切割輪分別通過相互平行的前切割輪軸和后切割輪軸安裝在切割頭架上并接驅(qū)動機構(gòu);所述的每個過輪和切割輪外圓周上有多個纏繞鋼線的線槽。

本實用新型的用于單晶硅籽晶多線切割機的切割頭結(jié)構(gòu),其中所述的切割頭架由四個連接角和四個與連接角相接的四個橫梁組成,形成框架結(jié)構(gòu)。

本實用新型的用于單晶硅籽晶多線切割機的切割頭結(jié)構(gòu),與現(xiàn)有技術(shù)相比可以將鑄錠狀單晶硅切割成薄片狀,整體結(jié)構(gòu)簡單,薄片厚度調(diào)整容易,滿足了薄片單晶硅生產(chǎn)的需要。也可選擇間隔纏繞的方式,使鋼線纏繞后間距增大,用于切割塊狀單晶硅材料。具有適用范圍廣、變換方便的優(yōu)點。

附圖說明

圖1是本實用新型具體實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所示:23為連接角,四個連接角關(guān)于中心對稱設(shè)置,在相鄰的連接角之間固定連接有橫梁1,四個橫梁1與四個連接角形成框架結(jié)構(gòu)的切割頭架。

在切割頭架上安裝有纏繞鋼線25的多個過輪、切割輪、與切割輪相接的驅(qū)動機構(gòu)及用于鋼線25導(dǎo)向的導(dǎo)向輪。

在切割頭架上方前側(cè)通過支架安裝有第一前過輪9、第二前過輪7、第三前過輪5,第一前過輪9、第二前過輪7、第三前過輪5為同軸設(shè)置,排列成線。在切割頭架上方后側(cè)通過支架安裝有第一后過輪18、第二后過輪20、第三后過輪22,第一后過輪18、第二后過輪20、第三后過輪22為同軸設(shè)置,排列成線。第一前過輪9、第二前過輪7、第三前過輪5和第一后過輪18、第二后過輪20、第三后過輪22對稱設(shè)置。

上述每個過輪的圓周上均有多個纏繞鋼線25的線槽。

在切割頭架下方前側(cè)通過前切割輪軸24安裝有第一前切割輪8、第二前切割輪6、第三前切割輪4,在切割頭架的下方后側(cè)通過后切割輪軸安裝有第一后切割輪、第二后切割輪、第三后切割輪,第一前切割輪8、第二前切割輪6、第三前切割輪4與第一后切割輪、第二后切割輪、第三后切割輪對稱設(shè)置。

上述每個切割輪的圓周上均有多個纏繞鋼線25的線槽。前切割輪軸24和后切割輪均與驅(qū)動機構(gòu)相接。

上述每個過輪的下方均對應(yīng)一個切割輪,第一前過輪9、第一前切割輪8、第一后過輪18和位于第一后過輪18下方的第一后切割輪組成左邊一組繞鋼線機構(gòu);第二前過輪7、第二前切割輪6、第二后過輪20和位于第二后過輪20下方的第二后切割輪組成中間一組繞鋼絲機構(gòu);第三前過輪5、第三切割輪4、第三后過輪22和位于第三后過輪22下方的第三后切割輪組成右邊一組繞鋼線機構(gòu)。

各導(dǎo)向輪均通過支架安裝在切割頭架上,具體位置如下:第十導(dǎo)向輪17位于第一后過輪18的左內(nèi)側(cè);第四導(dǎo)向輪10位于第一前過輪9的右內(nèi)側(cè);第十一導(dǎo)向輪19位于第二后過輪20的左內(nèi)側(cè);第三導(dǎo)向輪12位于第二前過輪7的右內(nèi)側(cè);第十二導(dǎo)向輪21設(shè)在第三后過輪22的左內(nèi)側(cè);第二導(dǎo)向輪3設(shè)在第三前過輪5的右內(nèi)側(cè);第一導(dǎo)向輪2設(shè)在位于右前角處的連接角上;第五導(dǎo)向輪11設(shè)在左前角處的連接角上;在左后角處的連接角上通過緊架安裝有互成角度的第六導(dǎo)向輪13、第七導(dǎo)向輪14、第八導(dǎo)向輪15和第九導(dǎo)向輪16。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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