[實用新型]一種在線原子層沉積裝置

有效

• 申請號: 201220130496.0
• 申請日: 2012-03-30
• 公開（公告）號: CN202610317U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 趙星梅;盛金龍;彭文芳;李春雷
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/54
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種在線原子層沉積裝置，其特征在于，包括基板送料系統、加工腔室、前驅物送料系統、至少一個裝卸元件、提升元件、控制與檢測系統和排氣系統，其中所述基板送料系統將基板送入所述加工腔室中，所述前驅物送料系統設置在加工腔室的側面，所述裝卸元件設置于加工腔室的進、出口位置，所述提升元件設置在所述加工腔室的正下方，通過加工腔室上的開槽與基板承載裝置接觸，所述控制與檢測系統和排氣系統分別與加工腔室連接。

2.如權利要求1所述的在線原子層沉積裝置，其特征在于，所述加工腔室包括：預熱腔室、至少一個反應腔室和冷卻腔室；所述預熱腔室、所述反應腔室和所述冷卻腔室依序連接。

3.如權利要求2所述的在線原子層沉積裝置，其特征在于，所述預熱腔室、反應腔室和冷卻腔室都包括一個與腔室本體分離的上蓋，該上蓋分別與預熱腔室本體、反應腔室本體和冷卻腔室本體采用螺栓固定連接，所述上蓋上開設有氣體擴散口，并且所述上蓋中間設有開槽，用于放置加熱元件。

4.如權利要求1所述的在線原子層沉積裝置，其特征在于，所述基板送料系統包括開有凹槽的傳送帶，傳送帶驅動機構及其附屬機構，用以裝載基板承載裝置并使其隨傳送帶而移動。

5.如權利要求1所述的在線原子層沉積裝置，其特征在于，所述裝卸元件包括一個自動控制系統、至少一個移動元件和至少一個基板承載裝置，所述板承載裝置上開有供放置基板用的凹槽，使基板可以在基板承載裝置上呈矩陣式排布，用以容納一個及一個以上的基板。

6.如權利要求1所述的在線原子層沉積裝置，其特征在于，所述前驅物送料系統包括至少一個前驅物源容器及沖洗氣體源容器。

7.如權利要求1-6任意一項所述的在線原子層沉積裝置，其特征在于，所述在線原子層沉積裝置還包括：加熱系統，所述加熱系統包括至少一個加熱元件。

8.如權利要求7所述的在線原子層沉積裝置，其特征在于，控制與檢測系統，用以控制裝卸元件、基板送料系統、前驅物送料系統和加熱系統的動作，并實時檢測基板的ALD反應狀態。