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[實用新型]一種帶籽晶繩擋板的籽晶繩固定輪有效

專利信息
申請號: 201220129799.0 申請日: 2012-03-30
公開(公告)號: CN202543388U 公開(公告)日: 2012-11-21
發明(設計)人: 唐旭輝;高彬彬 申請(專利權)人: 江蘇聚能硅業有限公司
主分類號: C30B15/30 分類號: C30B15/30
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 214105 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 籽晶 擋板 固定
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及單晶硅制造過程中使用的籽晶繩提升機構領域,具體來說是一種帶籽晶繩擋板的籽晶繩固定輪。

背景技術

目前,單晶硅制造行業采用的CZ直拉法技術生產單晶硅晶體,在提升晶體的時候會用到籽晶繩提升機構,籽晶繩提升機構由伺服電機、主動輪、從動輪、籽晶繩等組合而成。要實現高精度的籽晶繩傳動,必須保證籽晶繩傳動的平穩和協調性,傳動中應盡量避免籽晶繩之間摩擦、纏繞和傳動絮亂,因此繩槽的設計是籽晶繩提升機構的關鍵部分。

常見的繩傳動繩輪主要有光筒(無繩槽)和螺旋導向槽結構方式,(對于螺旋槽)或不規則的(光筒)的螺旋運動,傳動中,籽晶繩一方面沿繩輪周向卷繞,同時又繩輪軸向移動,籽晶繩沿輪軸軸向移動使籽晶繩傳動不可避免的現象,這樣很容易導致籽晶繩脫槽、折斷,使晶棒掉入堝內,造成漏硅等重大損失。

因此,特別需要一種帶籽晶繩擋板的籽晶繩固定輪,以解決現有技術中存在的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中籽晶繩容易出現脫槽的問題,提供一種帶籽晶繩擋板的籽晶繩固定輪來解決上述問題。

為了實現上述目的,本實用新型的技術方案如下:

一種帶籽晶繩擋板的籽晶繩固定輪,包括籽晶繩、籽晶繩槽和籽晶繩固定輪本體,所述籽晶繩的一端通過籽晶繩槽固定在籽晶繩固定輪本體的一個端面上,所述籽晶繩固定輪本體的軸心設置有旋轉軸,其特征在于:所述籽晶繩槽上設置有將籽晶繩限定在籽晶繩槽內的籽晶繩擋板。

在本實用新型中,所述籽晶繩槽為弧形的籽晶繩槽。

在本實用新型中,所述籽晶繩擋板的形狀與籽晶繩槽的形狀一致,所述籽晶繩擋板的寬度大于籽晶繩槽的寬度。

在本實用新型中,所述籽晶繩擋板通過螺釘設置在籽晶繩固定輪本體的一個端面上。

在本實用新型中,所述籽晶繩的末端通過壓板固定在籽晶繩槽上。

本實用新型的一種帶籽晶繩擋板的籽晶繩固定輪,與現有產品相比,在籽晶繩槽上設置用將籽晶繩限定在籽晶繩槽內的籽晶繩擋板,使本實用新型在使用的時候,避免籽晶繩脫槽和折斷,避免晶棒掉入堝內,造成漏硅等重大損失,結構簡單,十分實用,實現本實用新型的目的。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

為使對本實用新型的結構特征及所達成的功效有更進一步的了解與認識,用以較佳的實施例及附圖配合詳細的說明,說明如下:

參見圖1,一種帶籽晶繩擋板的籽晶繩固定輪,包括起拉晶作用的籽晶繩100、用于放置籽晶繩100的籽晶繩槽200和達到升降效果的籽晶繩固定輪本體300,籽晶繩100的一端通過籽晶繩槽200固定在籽晶繩固定輪本體300的一個端面上,籽晶繩固定輪本體300的軸心設置有旋轉軸400,籽晶繩槽200上設置有將籽晶繩100限定在籽晶繩槽200內的籽晶繩擋板500。

籽晶繩槽200為弧形的籽晶繩槽200,在使用的時候,達到較好的受力效果。

籽晶繩擋板500的形狀與籽晶繩槽200的形狀一致,籽晶繩擋板500的寬度大于籽晶繩槽200的寬度,達到對籽晶繩100進行限位的效果。

籽晶繩擋板500通過螺釘510設置在籽晶繩固定輪本體300的一個端面上,達到方便安裝的目的。

籽晶繩100的末端通過壓板600固定在籽晶繩槽200上,達到牢固固定的目的。

在使用的時候,籽晶繩100纏繞在籽晶繩固定輪本體300上,籽晶繩100的一端通過弧形的籽晶繩槽200連接到壓板600上進行固定,籽晶繩擋板500蓋在籽晶繩槽200上,從而在旋轉軸400正向或反向旋轉的時候,對籽晶繩起到了限位的作用。

本實用新型的一種帶籽晶繩擋板的籽晶繩固定輪,與現有產品相比,在籽晶繩槽200上設置用將籽晶繩100限定在籽晶繩槽200內的籽晶繩擋板500,使本實用新型在使用的時候,避免籽晶繩100脫槽和折斷,避免晶棒掉入堝內,造成漏硅等重大損失,結構簡單,十分實用,實現本實用新型的目的。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型的范圍內。本實用新型要求的保護范圍由所附的權利要求書及其等同物界定。

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